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【適用事例】半導体製造装置 金属セラミックス複合材料『MMC』
PR複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になりました。
MMC同士を接合することで中空構造体の製造が可能になりました。接合技術で形成された内部流路に冷媒やガスを流すことが可能です。高熱伝導、低熱膨張を特長とするMMCは、温度による熱変形が少なく、組み込まれる部品への悪影響を防ぎます。 <冷却ジャケットへの適用> アルミナESCとの熱膨張差低減によるアーキング防止、高熱伝導、低熱膨張によるエッチングレート向上 <ウエハチャックへの適用> ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ファインセラミックス株式会社
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PRケーブルの壁貫通部に使用する強力シーリング装置で水・土砂の流入を防止。…
メカニカルシーリング装置『HRDシリーズ』は、 ケーブルの円形壁貫通部やスリーブ管の止水・土砂流入防止ができる製品です。 様々なケーブル外径、ケーブル条数、貫通部(スリーブ管等)内径に合わせて製作が可能です。 現場にてケーブル外径に合わせてアジャスト可能な機構も搭載可能。 部品が全て一体化しており、ボルトを締めるだけで施工が完了します。トルクで管理するため万全の止水性能を確保できます。 【...
メーカー・取り扱い企業: 日本リンクシール株式会社
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優れた設計による押え装置が美しい切削面を生み出します
ディーに刃物の 交換を行うことが可能です。 【特長】 ■刃物交換用セッティングゲージ ■前側特殊分割セクショナルロール ■3枚刃 ■厚みデジタル表示(最小表示0.1mm) ■反発防止装置 ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 大日精工株式会社 国内販売部
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