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    遠心分離機『IOW遠心オイルセパレーター』

    PR潤滑油の汚染物質を高効率で除去し、装置メンテナンスを抑制。CO2排出量…

    『IOW遠心オイルセパレーター』は、高い汚染物質除去能力を持ち、 潤滑オイルから不純物やサブミクロンレベルの粒子を高効率除去し、 エンジンの安定稼働とメンテナンスコストの削減に貢献します。 機械部品の摩耗防止による機械寿命の延長化により、 装置メンテナンスの抑制によるダウンタイム削減が図れるほか、 エンジンの安定稼働で燃料消費の無駄を削減できるため、 CO2排出量削減に向けた取り組...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノサポート

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    圧縮ガスドライヤー

    PR各種圧縮ガスから不純な水分を除去するドライヤー

    各種ガスドライヤーは、圧縮ガスから水蒸気を連続的に分離するように設計されているため、圧力下露点温度を低下させます。 【効果一例】 二酸化炭素は不活性ガスであり、湿度のレベルによっては腐食性が高くなる可能性があります。 したがって、圧縮二酸化炭素ドライヤー(CO2ドライヤー)は通常、特定のプロジェクト要求を満たすためにカスタムメイドされます。 動作圧力、温度、要求される圧力下露点温度、湿度レベル...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社旭ケミカルス

  • 半自動リフトオフ装置(セミオートリフトオフ機)Lift-off 製品画像

    半自動リフトオフ装置(セミオートリフトオフ機)Lift-off

    自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…

    ウェハ(基板)をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット(キャリア)でセットをすることはできませんが、マニュアルと違いウェハ1枚1枚を自動搬送するので、偏心や位置ズレの心配がありません! ドライイン・ドライ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 段取り替えなし!インチ兼用自動リフトオフ装置 製品画像

    段取り替えなし!インチ兼用自動リフトオフ装置

    【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理!】複数サイズ兼用装置はダウ…

    サイズウエハの段取り替えがないメリット」】 ■ダウンタイムが少なく高稼働 ■段取り替え後の調整ミスによる装置、デバイスの破損を防ぐ ■自動ウエハサイズ認識で処理レシピ選択ミスの削減 ■バリの除去 ■メタルの再付着なし まずはデモのご検討をお願いします!...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off 製品画像

    短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off

    短時間剥離!当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

    厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な高圧ジェットリフトオフ装置です。 【特長】 ■短時間処理可能なMAX20MPaの高圧ジェット ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし ■レジスト剥離も可能 ■独自レシピでの傷の低減 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) まずはデモをご検討ください!...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置 製品画像

    高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置

    【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

    【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 枚葉式でDIP!?膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置 製品画像

    枚葉式でDIP!?膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

    【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…

    【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】+【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去! ●【膨潤+高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能! ・高温ベークで取れづらくなったレジスト ・ドライエッチング後のレジスト ・微細パターンの奥深くのレジスト ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 自動リフトオフ装置(メタル・レジスト剥離)Lift-off 製品画像

    自動リフトオフ装置(メタル・レジスト剥離)Lift-off

    高圧ジェットで驚きの剝離能力!当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

    ングで困難な厚膜のパターニングに好適な高圧ジェットリフトオフ装置です。 【特長】 ■W(ダブル)効果リフトオフによる驚きの剥離能力! ■枚葉式によるプロセス安定性 ■リフトオフ時のバリの除去 ■再付着なし ■温調薬液のリサイクルシステム (オプション) ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

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