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フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置
PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…
真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...
メーカー・取り扱い企業: 富士ハイテック株式会社
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PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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4年間で除去率91%!信頼性が向上した上に、メンテナンス費も削減できた…
発電用蒸気タービン(潤滑油、制御油) 改善事例をご紹介します。 遠心式濾過機が故障した8年前から、年1回の休転時に油クリーニングして きましたが、蒸気バルブや制御バルブの動作不良が発生。分解点検したところ 油圧部にサビや異物混入が見られました。 そこで、工業用オイル高性能濾過装置を常設。 結果、工業用オイル高性能濾過装置の導入で油の高い清浄度が維持でき、 信頼性が向上した上...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エステック21
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