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・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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「定電力モード」と「定電圧モード」を装備
ボンディング中のインピーダンス値変動をモニターし、自動的に安定した超音波出力が得られるよう設計されています。 【特徴】 ○ボンディングアプリケーションに対して常に最適な条件を選択可能 ○「RAMP」「DELAY」「BOOST」などの機能を利用することが可能 ○割れ欠けなどが発生しやすい材料に対しても安定したボンディングが可能 ○超音波出力:最大2.5W ○制御方式:電圧制御、電力制...
メーカー・取り扱い企業: ユーシー・ジャパン株式会社
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