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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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主に、組付・レーザー接合・金属加工・樹脂溶着・性能検査・ワーク搬送の工程で車載電池用設備の実績があり、 これらの培ってきた技術や知識を活かした提案が可能です。 また、ODM/OEM製作においては、お客様の工場へ納入する前に弊社の工場内にて 設備を並べ、品質確認やサイクルタイムの確認、流動確認等も実施いただけます。 数多くの台数をこなすことでコスト削減が可能です。 従来の工程・工法だけでなく、新工...
メーカー・取り扱い企業: 日清紡メカトロニクス株式会社
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