顕微鏡法 | イプロスものづくり

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、透過電子（Transmitted Electron;TE）像の観察が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる・金属結晶粒観察が可能（Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm） ■MST所有装置の特徴・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能・FIB（集束イオンビーム）加工との組み合わせで連続的な断面SI...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法

ナノオーダーでの元素分析・状態評価・粒径解析・三次元立体構築像の取得

TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 ■長所・サブナノレベルの空間分解能で拡大像が得られ、試料の微細構造・格子欠陥等を観察・解析可能・試料の結晶性を評価し、物質の同定を行うことが可能・ＦＩＢで試料作製することにより、デバイス内の指定箇所をピンポイントで観察することが可能・オプション機能を組み合わせること...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

アスベスト分析

低コスト＋短納期、層別に結果をご提供！石綿除去方法の選定にご活用くださ…

年間約14000検体「アスベスト分析」の実績があります。日本作業環境測定協会及び日本環境測定分析協会に登録されており、高い技術を持ったスタッフが在籍。同一試料を2名でクロスチェックし、日環協インストラクターが最終検査します。 “JIS A 1481-1”“JIS A 1481-2”“JIS A 1481-3”“JIS A 1481-4”の全ての分析方法に対応。定量分析で3...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アサヒテクノリサーチ

［ED］電子回折法

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を…

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。・物質の結晶学的情報が得られます。透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能...■使用する探針シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EMS分析（エミッション顕微鏡法）

故障箇所を迅速に特定

EMSは、半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。EMMS、PEM、EMIとも呼ばれます。・測定波長領域（可視域から近赤外域）に対して透明な材料のみ評価可能・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能...発光源としては、空間電荷領域でのキャリアの電界加速...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...1．貼り合わせサンプル同士もしくは支持基板とを接着剤で貼り合わせます。 2．切断数mmの厚みで切り出します。 3．研磨機械研磨を行い、貼り合わせ界面が中心になるように薄くします。 4．Arイオンミリング ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ロックイン発熱解析法

ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します

・IR-OBIRCH機能も合わせ持ち、発熱箇所特定後、IR-OBIRCH測定により、故障箇所をさらに絞り込むことができます。・赤外線を検出するため、エッチングによる開封作業や電極の除去を行うことなく、パッケージのまま電極除去なしに非破壊での故障箇所特定が可能です。・ロックイン信号を用いることにより高いS/Nで発熱箇所を特定でき、Slice ＆ Viewなど断面解析を行うことができます。.....

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能・半導体のドーパント濃度分布計測に有効・半導体の極性（p型/n型）の判定は不可 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

Scanning Microwave Microscopy

SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。・Si デバイスの場合、1015～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ウルトラミクロトーム加工

ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過…

ウルトラミクロトーム加工とは、ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過電子顕微鏡用の超薄切片を作製する加工法です。イオンビームを用いた加工と異なり、大気中にて広範囲の切片を作製することができます。室温では切削が困難な生体材料や柔らかい高分子材料も、凍結固定することで超薄切片を作製することが可能です。...1．切り出し 2．樹脂包埋 3．粗トリミング ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

株式会社GSユアサ環境科学研究所　アスベスト調査・石綿分析

アスベスト調査・石綿分析は株式会社GSユアサ環境科学研究所にお任せ下さ…

アスベストは、耐久性、耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性等に非常に優れ、日本ではかつて、「奇跡の鉱物」等と呼ばれ、様々な用途に広く使用されてきました。しかし、近年ヒトの健康に多大な悪影響を及ぼす物質として恐れられています。「石綿障害予防規則(石綿則)」では、建築物の解体作業等によるアスベスト(石綿)へのばく露防止対策が強化され、事前調査により石綿の有無が判定できなかった場合、分析調査の実施、およびその結...

メーカー・取り扱い企業：株式会社GSユアサ環境科学研究所

【資料】受託分析サービス　非破壊観察

半導体や電子部品の不具合箇所の特定や、新素材の電流分布の測定に有効！

当資料では、東芝ナノアナリシス株式会社で行っている「受託分析サービス非破壊観察」について詳しく解説しております。磁場顕微鏡で行うプリント基板配線パターン内の電流経路観察や、超音波顕微鏡でのウェーハ貼り合わせの密着性観察(反射法)などの事例を多数掲載。ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。【掲載内容】 ■磁場顕微鏡 ■超音波顕微鏡(SAM) ■3次元X...

メーカー・取り扱い企業：東芝ナノアナリシス株式会社

【課題解決事例】ユニットクーラーから「黒い異物」が飛散した事例

ユニットクーラーから「黒い異物」が飛散！トラブルが無事解決した事例のご…

工場のユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしいとの依頼をいただきました。【事例】 ■課題・ユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしい ■解決策・「走査型電子顕微鏡～エネルギー分散型X線（SEM-EDX）」で元素分析・「フーリエ変換赤外分光法」による有機物の分析、異物の表面と切断面を比較 ...飛散した異物を「走査型電子顕微...

メーカー・取り扱い企業：日本水処理工業株式会社本社

アスベスト調査

含有量の把握、場所の把握などを調査！偏光顕微鏡による分析、X線回折分析…

アスベストが含まれている可能性があるのは、波形スレート、住宅屋根用カラーベスト、耐火被覆板、スレート板、石膏板、吹き付け加工部位などです。当社では採取から分析まで実施。安全な建材に変更する施工が必要ですが、まず検査して、無駄な工事は避けることが必要です。「アスベストが含まれてるかすぐ知りたい！」そんな時にお問い合わせください。【調査方法】 ■建設記録の確認 ■ヒ...

メーカー・取り扱い企業：東海プラント分析センター株式会社

岩石鉱物分析

貯留層地質の解釈ツールとして！薄片観察やX線回折分析など、岩石鉱物分析…

石油資源開発株式会社では、様々な岩石学的手法を最大限に活用して、石油および地熱の探査・開発に応用しています。岩石鉱物分析上まず始めに実施すべき「薄片観察(ブルーレジン圧入)」をはじめ、「X線回折分析(XRD)」や「流体包有物マイクロサーモメトリー」など、豊富な分析をご用意しております。【探査および評価作業】 ■薄片観察(ブルーレジン圧入) ■X線回折分析(XRD) ...

メーカー・取り扱い企業：石油資源開発株式会社

【課題解決事例】メタンガスが基準値を超えて検出された事例

温泉成分分析とメタンガス測定を実施！　安全性を確認後必要に応じて改善策…

可燃性ガスで爆発の危険があるメタンガスが基準値超えで検出されました。某温泉施設で温泉成分分析とメタンガス測定を実施。当社では「源泉付近→貯湯タンク→浴室の端末」までの設備や系統を充分に把握し測定を行い、安全性を確認後必要に応じて改善策を提案しています。設備の状態を正しく把握した上での検査が大事です。【概要】 ■課題・温泉施設で爆発の危険があるメタンガスが基準値超えで検出 ■...

メーカー・取り扱い企業：日本水処理工業株式会社本社

「分析コンサルティング」

原因調査から問題解決まで！適切な分析・試験・評価について提案・実施しま…

分析によって問題解決したいが、何をどう分析したらよいかわからない。異物の特定、原因調査、対策までを実施したい。電子顕微鏡やガスクロマクトグラフ質量分析計等を所有しているが、前処理法や使用方法がよくわからない。など分析に関するご相談を承ります。【サービス内容】 ○加熱炉による評価試験、各種ガスによる加熱処理、　熱処理、熱処理条件検討等のご相談。 ○分析方法のご相談 ○サ...

メーカー・取り扱い企業：湖西テストラボ合同会社

【水質検査・環境測定】充実な検査体制で水と空気のトラブル原因究明

「水」と「空気」への科学的アプローチを重視！　充実した体制を整えていま…

「水」と「空気」への科学的アプローチを重視し、高精度な分析データに基づいて、“目に見えない”トラブルの原因を“目に見えるカタチ”に分析・測定し、究明します。そのためには、さまざまな設備の導入はもちろん、スタッフのスキルとノウハウの充実、そして適切な検査環境を整備することが大切です。当社は、2011年6月社屋の増築に伴って従来の検査室を移設。新しい設備機器を導入し、新たな検査室へ生まれ変わり...

メーカー・取り扱い企業：日本水処理工業株式会社本社

業務紹介　カビ検査

カビの判定を短時間で行います。

蛍光ｉｎ　ｓｉｔｕハイブリダイゼーション（Fluorescence in situ Hybridization : FISH）法により、カビ胞子の検出を行います。 ...【特徴】検査の流れ ○拭き取り用スワブ等を使用して、検査対象物から菌体（胞子、菌糸）を採取する。 ○菌体を固定処理する。 ○検査したいカビのプローブを使用してＦＩＳＨを行う。 ○蛍光顕微鏡によりカビの検出・判定を行う...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＩＨＩ検査計測