FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

書籍【マイクロリアクターによる合成技術と工業生産】

合成反応の収率・選択性向上と生産現場におけるコストダウン 開発、生…

○発刊日2009年09月25日○体裁B5判上製本 234頁○価格：本体 55,000円＋税 →STbook会員価格：52,190円＋税○著者：前　一廣 京都大学 / 藤井　泰久 (株)KRI / 山上　達也 (株)コベルコ科研 / 馬場　美貴男 東レエンジニアリング(株) / 野田　賢 奈良先端技術大学院大学 / 田中　仁章 横河電機(株) / 川崎　慎一朗 産業技術総合研究所 / ...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社