組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

イオンパーツクリーナー IPC-A3／IPC-A4：ベッセル

作業台と静電気除去装置付き小型集塵ユニットをコンパクトに一体化。セル生…

静電気により付着した微細粉塵や静電気を嫌う部品の除電・除塵に使用する装置です。 イオン化された圧縮エアーを間欠で吹き出して塵埃を強力に吹き飛ばし、自己粘着性のあるウレタンゲルとフィルタで回収します。 ●集塵フード ・フード前面には開閉可能な透明窓を設け、飛散防止と良好な視界を確保 ・ワークの出し入れがスムーズにできる最適な開口部を設計 ・粘着ゲルシートの洗浄や交換が容易になりまし...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社