FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

含油廃水を90%以上削減『油水分離用UF装置』

PRエマルジョン化した含油廃水も20倍まで濃縮可能！コンパクトで狭い場所で…

『含油廃水用UF装置』はチューブ型UF膜を使った油水分離装置です。 少々のキリコやゴミはそのままUFでろ過できますので前処理が要りません。 含油廃水濃縮処理して、NHexを低減させて廃水処理の負担を軽くします。 また、当社は特殊液体の排水処理にも幅広く対応しており、 さまざまな産業・研究機関で活用されています。 【特長】 ■エマルジョン化した含油廃水を10倍～20倍まで濃縮可能 ■プレフィ...

メーカー・取り扱い企業： 日本アブコー株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

可変速モーター、パソコン、電磁開閉器、高圧放電ランプ、 マグネット・スイッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて 動作に支障をきたす可能性があります。 シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける 可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、 エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。 このため半導体の製造設備に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー