組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

空冷式室外機・チラー省エネ対策機器『エコ・クーリングエース』

ピークカット対策にも、夏場の冷却能力をアップし消費電力を低減できる省エ…

『空冷式室外機・チラー省エネ対策』として使用する「エコクーリングエース」は、空冷用の冷凍・冷蔵・冷房機器の室外機に取付け、フィルターに散水、通過した冷却空気をコンデンサーに送る間接冷却装置です。 間接冷却効果により、盛夏の日中現場ではマイナス１０度近い吸込み空気温度の低下が期待できます。（地域や設置場所の環境にもよります） ピークカットによる基本電力料金削減、使用電力料金削減、高圧カッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭ケミカルス

省エネルギー冷却装置 「エコクーリングエース」

温度センサー方式により急激な負荷変動による圧力上昇にも対応できます。

冷凍機・空調機などの室外機吸収口に取り付けたフィルターに水道水を散水し、水の蒸発潜熱を利用しフィルターを通過する空気を冷却し空気を凝縮器に送ることで、室外機が経済的・効率的に運転するために補助を行なう冷却装置です。 【特徴】 ○夏場の冷凍機　空調機の高圧カット ○温度センサー方式により急激な負荷変動による圧力上昇にも対応できる ○コンデンサーに吸い込まれ目詰まりする、ゴミを遮断するフィ...

メーカー・取り扱い企業： 大冷工業株式会社 環境開発部