自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ 搬送…大気3軸クリーンロボット クリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター 洗浄…ブラシ、MS標準装備 オプション…高圧ジェットノ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します！ アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

高精度クリーンエアーナイフシステムの採用により、水滴残りやしみの無い最適の液切り状態を実現しました。さまざまな洗浄ツールの組み合わせが可能です。...ミクロンレベル微小液滴の高速噴射により薬液処理後のリンスなどに効率良く高い洗浄効果が得られ、ライン長の短縮が図れます。その他洗浄ツールも搭載可能（超音波ディップ、メガシャワー、アルカリ、酸、機能水洗浄）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…

枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置 ○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供（フープ対応可） 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300mm ○洗浄液...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社