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LCD基板高圧洗浄装置
高精度クリーンエアーナイフシステムの採用により、水滴残りやしみの無い最適の液切り状態を実現しました。さまざまな洗浄ツールの組み合わせが可能です。...ミクロンレベル微小液滴の高速噴射により薬液処理後のリンスなどに効率良く高い洗浄効果が得られ、ライン長の短縮が図れます。その他洗浄ツールも搭載可能(超音波ディップ、メガシャワー、アルカリ、酸、機能水洗浄)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社二宮システム
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【デモ機貸し出し可能!】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(…
枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(フープ対応可)。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置 ○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供(フープ対応可) 【仕様】 ○ウエハーサイズ:~φ300mm ○洗浄液...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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