株式会社カナメックス厚木工場
最終更新日:2010-12-14 13:24:07.0
枚葉自動マルチスピンプロセッサー
基本情報枚葉自動マルチスピンプロセッサー
リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
特徴】
■装置寸法
2700W×1500D×2000H (200WCBT)
3000W×1500D×2000H (300WCBT)
■ワークサイズ
ウェハー φ4″~φ8″(300WCBTはMAXφ12″)
マスク □4″~□6″( 同 MAX□9″)
■オプション
ワーク反転機構
FOUPロードポート対応
レチクルケース対応
SMIF POD対応
オリフラ/ノッチ合わせ機構
イオナイザー
オゾン水供給ユニット
高圧ポンプユニット
薬液供給ユニット
機能水供給ユニット
エキシマUVユニット
帯電防止器
□その他詳細についてはカタログをご覧ください
枚葉自動マルチスピンプロセッサー
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。
チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。 (詳細を見る)
枚葉自動マルチスピンプロセッサー
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。
チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。 (詳細を見る)
取扱会社 枚葉自動マルチスピンプロセッサー
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