離型剤処理装置ナノインコーター8inch 対応　NIC-1103

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。
処理は1ワークずつ行います。
SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 （詳細を見る）

本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。
処理は1ワークずつ行います。
SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。

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　本装置は、φ200mmのナノインモールドを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。
処理は1ワークずつ行います。
SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 （詳細を見る）

小ガラス、アクリル、銅箔、チューブ状の物質にミリ単位の速度(0.1mm/secごとの可変)でディップコート(ディップコーティング)できるディップコーター。
1μm/secから40mm/secまでの速度可動域で、クリーン仕様としてフアン付きヘパユニット、安全対策として、ガス検知器、排気圧警報、エリアセンサー等を装備したディップコーターです。 （詳細を見る）

　本装置は、複数のガラス製ナノインモールドを同時に離型剤塗布、リンス等を行える装置です。2槽の循環機構付きタンクがあり、自動運転でさまざまな工程パターンでの制御を可能としました。
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　本装置は、耐薬品性を考慮した、複数のガラスや金属を複数枚同時にコートが行えるディップコーター(塗布装置)です。接液部には、PTFE材を使用し、PTFEコート、静電気対策を施工。循環機構部の交換が可能で、複数の循環機構部を用意する事で異なるコート液をディップコートすることが可能なディップコーティングシステムです。
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