UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」テクノビジョン

ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が可能

【モデルUVC-512】は、特定波長（365nm）の紫外線を照射することのできる装置です。UV（紫外線）硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可能となります。

本装置は、ワークを回転させながら照射させるため、光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUV フィルム硬化装置／UV 照射装置です。

基本情報UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。

高圧水銀ランプ仕様。
300mm／12”対応。
サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。

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型番・ブランド名	UVC-512
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カタログUV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

取扱企業UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

株式会社テクノビジョン本社

■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■ＦＰＤ製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。【洗浄装置関連】・カセット・キャリア洗浄装置・フォトマスク洗浄装置・全自動マスク洗浄装置／マスク洗浄機・簡易洗浄ユニット・紫外線オゾン洗浄装置・超純水用・エアー用加熱装置【スーパークリーンヒーター】・超純水用加熱ヒーター・クリーン加熱ヒーター・簡易タイプ温度コントローラー【後工程組立関連】・テープマウンター／ウェハーマウンター（ウエハーマウンター）・ウェハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置・UVフィルム硬化装置／紫外線フィルム硬化装置・グリップリング／ウェハー収納ケース ※日本全国および海外（台湾、中国、欧米）にも対応。詳細は、お気軽にお問合せ下さい。