LED・高圧水銀灯光源・UVフィルム硬化装置 総合カタログ

LED光源を使用した、UVフィルム硬化装置です。
従来の装置と同水準の装置価格のままで、ランニングコストを1/10以下に抑えることができます。

水銀灯やメタルハライド光源と比較して、硬化性能（硬化状態、硬化スピード）はより良好なレベルを実現しています。

その他、本装置は下側照射や上側照射をはじめ、カスタム仕様の対応、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。 （詳細を見る）

テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW/cm2（10mm work distance）の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。

LEDの特長である常温照射によるワークへの熱ダメージ低減、低消費電力、長寿命性、光源の交換時に安全等、数多くのメリットが受けられます。 （詳細を見る）

『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな
LED光源UVフィルム硬化装置です。

UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、
8インチウェハに対して全面照射を可能としました。

【特長】
■365nmのUV-LEDを使用し、常温照射、低ランニングコスト
■小型、テーブルトップサイズ
■簡単ボタン操作
■LEDユニットエラー検出機能
■N2パージ機構標準搭載
■8インチ枚葉式

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

【モデルUVC-512】は、特定波長（365nm）の紫外線を照射することのできる装置です。UV（紫外線）硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可能となります。

本装置は、ワークを回転させながら照射させるため、光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUV フィルム硬化装置／UV 照射装置です。 （詳細を見る）

ワークを回転させながら照射させるため、
ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置 （詳細を見る）