株式会社テクノビジョン本社
最終更新日:2023-05-18 16:41:17.0
LED・高圧水銀灯光源・UVフィルム硬化装置 総合カタログ
基本情報LED・高圧水銀灯光源・UVフィルム硬化装置 総合カタログ
ダイシング工程および、バックグラインド工程の自動化・省力化に貢献
LED・高圧水銀灯光源・UVフィルム硬化装置 総合カタログ
掲載機種
■LED光源|全自動UV フィルム硬化装置
Model:UVC-200A
Model:UVC-300A
■LED光源|マニュアルUV フィルム硬化装置
Model:UVC-200
Model:UVC-300
Model:UVC-708
■高圧水銀灯光源|マニュアルUV フィルム硬化装置
Model:UVC-408
Model:UVC-512
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-300」
LED光源を使用した、UVフィルム硬化装置です。
従来の装置と同水準の装置価格のままで、ランニングコストを1/10以下に抑えることができます。
水銀灯やメタルハライド光源と比較して、硬化性能(硬化状態、硬化スピード)はより良好なレベルを実現しています。
その他、本装置は下側照射や上側照射をはじめ、カスタム仕様の対応、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。 (詳細を見る)
UVフィルム硬化装置|全自動 LED光源仕様「UVC-300A」
テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW/cm2(10mm work distance)の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。
LEDの特長である常温照射によるワークへの熱ダメージ低減、低消費電力、長寿命性、光源の交換時に安全等、数多くのメリットが受けられます。 (詳細を見る)
UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-708」
『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな
LED光源UVフィルム硬化装置です。
UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、
8インチウェハに対して全面照射を可能としました。
【特長】
■365nmのUV-LEDを使用し、常温照射、低ランニングコスト
■小型、テーブルトップサイズ
■簡単ボタン操作
■LEDユニットエラー検出機能
■N2パージ機構標準搭載
■8インチ枚葉式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
UV(紫外線)硬化装置|高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」
【モデルUVC-512】は、特定波長(365nm)の紫外線を照射することのできる装置です。UV(紫外線)硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可能となります。
本装置は、ワークを回転させながら照射させるため、光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUV フィルム硬化装置/UV 照射装置です。 (詳細を見る)
取扱会社 LED・高圧水銀灯光源・UVフィルム硬化装置 総合カタログ
■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■FPD製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。 【洗浄装置関連】 ・カセット・キャリア洗浄装置 ・フォトマスク洗浄装置 ・全自動マスク洗浄装置/マスク洗浄機 ・簡易洗浄ユニット ・紫外線オゾン洗浄装置 ・超純水用・エアー用加熱装置 【スーパークリーンヒーター】 ・超純水用加熱ヒーター ・クリーン加熱ヒーター ・簡易タイプ温度コントローラー 【後工程組立関連】 ・テープマウンター/ウェハーマウンター(ウエハーマウンター) ・ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置 ・UVフィルム硬化装置/紫外線フィルム硬化装置 ・グリップリング/ウェハー収納ケース ※日本全国および海外(台湾、中国、欧米)にも対応。 詳細は、お気軽にお問合せ下さい。
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