UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」テクノビジョン

小型・軽量・小フットプリント装置

ワークを回転させながら照射させるため、
ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置

基本情報UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

■主な特長

・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載
・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる
・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に
大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少など、総合的な製造プロセスの効率化が図れる

※詳細は、お問い合わせ下さい。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	UVC-408/UVC-512
用途／実績例	詳細は、お問い合わせ下さい。

カタログUV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

取扱企業UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

株式会社テクノビジョン本社

■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■ＦＰＤ製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。【洗浄装置関連】・カセット・キャリア洗浄装置・フォトマスク洗浄装置・全自動マスク洗浄装置／マスク洗浄機・簡易洗浄ユニット・紫外線オゾン洗浄装置・超純水用・エアー用加熱装置【スーパークリーンヒーター】・超純水用加熱ヒーター・クリーン加熱ヒーター・簡易タイプ温度コントローラー【後工程組立関連】・テープマウンター／ウェハーマウンター（ウエハーマウンター）・ウェハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置・UVフィルム硬化装置／紫外線フィルム硬化装置・グリップリング／ウェハー収納ケース ※日本全国および海外（台湾、中国、欧米）にも対応。詳細は、お気軽にお問合せ下さい。