有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置エイエルエステクノロジー

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！

当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた
『有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。

【特徴】
○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能
○蒸着室寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ）
○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート
○真空排気ポート（NW40）1ポート
○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ
○基板加熱もしくは基板冷却機構
○蒸発源：2源（同時2源）
○水晶膜厚計、基板シャッター付き
○高真空ポンプ：ターボポンプ

基本情報有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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取扱企業有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置

株式会社エイエルエステクノロジー

■研究用真空装置の製造販売・有機EL研究用蒸着装置・昇華精製装置・キャリアボックス・試験用チャンバー・スパッタリング装置・UHV排気装置・特注真空装置・特注真空応用部品・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売・ULVAC社の扱う真空部品などの販売・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売　（東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス）　蒸着ボートの販売