コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

バイオマス生分解性の樹脂・プラスチック・コーティング剤・色材など

PR石油系材料をできるだけ使用しない化学製品群（樹脂・プラスチック・コーテ…

近年深刻になりつつあるプラスチックゴミによる地球環境破壊問題の解決のために、 当社では様々な生分解性材料を開発いたしました。 100％天然由来の生分解性成分からできているグレードもあり、この材料を 使うことにより、CO2削減やリサイクルも促進できます。 また当社の技術である、セルロースナノファイバーを複合化させることも 可能です。 【開発事例】 ■紙・木・竹・デンプンな...

メーカー・取り扱い企業： GSアライアンス株式会社 冨士色素株式会社　内

最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で1.6-80L/…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8712は、 ●...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー(MFC)

装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントロ…

大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！ 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラで簡単・確実に！

ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御でき…

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける”マス...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

コリオリ式液体マスフローコントローラType8756

ビュルケルトのコリオリ式液体MFC（マスフローコントローラ）は、10～…

ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応…

●CANOpenに対応したMFC ●高速応答（最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内） ●10[ml/min]～1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ ●保護等級IP65...【特長】 ◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行 　ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありませ 　ん。 ◆設置後すぐにガスの制御・流量測...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ！ 振動、ねじ…

ンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

ンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

LFC(液体用流量コントローラ)

ビュルケルトのLFC（リキッドフローコントローラ）は、15～600ml…

　ビュルケルトのLFC（リキッドフローコントローラ）は、15～600ml/minの液体流量を計測・コントロールします。 　市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で30-1500L…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8626は、 ●...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対…

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！ 【1台で何役もこなします！】 ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPa...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

少量から大流量を１台で制御可能なマスフローコントローラ

1台で30-1500L/minを制御できる気体向けマスフローコントロー…

レンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8626は、 ●...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type8711マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8711は、最小20cc/minから制御可能な、微少流量用のマスフローコントローラです。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type8626マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8626は、最大1500L/minまで制御可能な、大流量用のマスフローコントローラです。 保護等級　IP 65　取得機種です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量…

産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 2月26(水)～28(金)の機械要素展に出展いたしますので、ぜひ直接ご覧になってください！ 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広…

産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

ンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

コリオリMFC(液体マスフローコントローラ)

ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～2…

ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…

ンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社