非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

す。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

ピエゾパーツ株式会社　会社概要

人の感知出来ないナノレベルの質量測定が可能な【高品質】【高感度】【高安…

品 ■特殊ゴムキャップ付きピンセット製造販売 ■真空装置のメンテナンス・改造・据付・移設 【主要取引先】 ■時計事業関連企業 ■カメラ事業関連企業 ■コンピュータ事業関連企業 ■有機EL事業関連企業 ■光学機器関連企業 ■計測機器関連企業 ■電子機器関連企業 ■電子部品関連企業 ■大学や開発研究機関など 【主な取扱製品】 ■膜厚モニター水晶 ■膜厚モニターガラ...

メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社

大気圧確認用真空スイッチ PS91

半導体型薄膜素子採用で高真空連続使用に対応が可能

【PS91シリーズ】は、半導体や液晶／有機EL製造装置で使用される真空チャンバなどに適している。 指示方式：ゲージ圧 定格圧力範囲：-100～10 kPa 電源：12～24 V DC 出力：NPN/PNPオープンコレクタ出力2点 出...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)