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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PR2700×650×1250mmの大型品や、400kgまでの重量物に対応…
当社は『アルマイト処理』を行うための工場を保有し、超大型の電解槽で 様々な形状・サイズのアルマイト処理を行っています。 高電流・高電圧のアルマイト処理で、鋳物・ダイキャスト製品への 均一な処理が可能。通電が必要な箇所はマスキング対応が可能です。 例えば、1250×2500mmのアルミ板材や、1個400kgの印刷ロールなどの 処理が容易に行え、治具の種類も豊富で複雑形状にも対応でき...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社富商 本社
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サードレール電流コレクターの世界市場:DC750V、DC1500V、地…
本調査レポート(Global Third Rail Current Collectors Market)は、サードレール電流コレクターのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のサードレール電流コレクター市場概要、主要企業の動向(売上、販売価格、市場シェア)、セグメント別市場規模、主要地域別...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マーケットリサーチセンター
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自動車用大電流リレーの世界市場:プラグインリレー、PCBリレー、トラッ…
本調査レポート(Global Automotive High Current Relay Market)は、自動車用大電流リレーのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の自動車用大電流リレー市場概要、主要企業の動向(売上、販売価格、市場シェア)、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マーケットリサーチセンター
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2段階昇温方式により昇温開始時の電流消費を低減!制御盤有メルター
制御盤有りメルター『VHシリーズ(タッチパネルタイプ)』のコントロール…
『VHシリーズ(タッチパネルタイプ)』は、制御盤が有るメルターです。 2段階昇温方式により、昇温開始時の電流消費を低減します。 PLC(シーケンサー)仕様/多点温度調節器を使用した、タッチパネル方式のコントロール。 オプションで、複数台のタンクを一括して管理することが可能です。 【特長】 ■P...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンツール
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電気の専門家から教えてもらった!適切な断面積と電流密度を持つブスバーの…
当資料では、銅ブスバーの適切な選定方法と電流密度の基準について 解説しております。 また、銅平角棒の特性や配電盤、分電盤などの多様な用途、 銅バーの電流容量や断面積の求め方についてご紹介。 当社では、銅専門の部品加工事業を行っ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社石垣商店
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PLCからサーボアンプなしでサーボ弁を動かしたい方必見!
外形寸法 70mm✕120mm✕30.3mm(突起部を除く) 入力信号 1~5V、0~5V,0~10V、±10V 4~20mA、0~20mA 入力インピーダンス 100kΩ サーボ弁駆動電流 ±100mAまでの指定値 指令信号レベル調整範囲 0~100% 指令信号オフセット調整範囲 0~±1.5%(最大指令値に対し) 出力電流レベル調整範囲 0~±10%(最大出力電流に対し) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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ワンプッシュで接続可能!施工時間を大幅に短縮できます。
短絡事故の防止が図られ、色識別により、目視での結線確認ができます コネクタ仕様 ■導体材質: 銅(銀メッキ) ■カバー材質: PBT ■定格電圧 : AC/DC 600V以下 ■定格電流 : 130A~250A ■使用温度範囲 :-25℃~105℃ ■ケーブルサイズ:38sq、 60sq、100sq...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三桂製作所 本社
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取り替えがラクラク!抜群の接触信頼性!長寿命なプラグイン型リレー
鉄道車両、エレベータ、鋼鉄、電力等、様々な市場で使用実績あり! 使えば…
【プラグイン型リレー RBシリーズの仕様】 ※以下スペックは大容量型になります。 ○定格通電電流 5A ○定格使用電流 AC220V 1A DC220V 0.2A(L/R=100ms) DC110V 0.5A(L/R=100ms) ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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電源不要でメンテナンス負担も軽減!使えば分かる高い接触信頼性! 長寿…
【ベーン型磁気近接センサー PSMOシリーズ 接点定格・仕様】 ※以下スペックは中容量型になります。その他詳細、大容量型のスペックはカタログをご参照ください。 ○定格通電電流 3A ○定格使用電流 AC220V 0.5A(50/60Hz) DC110V 0.3A(L/R=40ms) ○最大投入電流 AC220V 15A(力率0.3...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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15分割出力が可能!スイープ機能により指針指示計測器の「引っ掛かり」試…
当社の試験装置「指示計器用交流標準電圧電流発生装置」をご紹介します。 主に0.5級計測器の校正試験に使用。交流電圧、交流電流を50Hz/60Hzにて ±0.1%の確度で発生させることができ、最大出力電圧または最大出力電流 を設定し...
メーカー・取り扱い企業: 関西電力送配電株式会社 技術試験センター
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大電流での安定した接続と着脱!汎用工具で圧着施工が可能!
大電流に対応した1芯プラグインコネクタです。 大電流での安定した接続と着脱が出来ます。 汎用工具で圧着施工が出来ます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三桂製作所 本社
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IEC60571(EN50155)適合 小型基板実装型リレー
鉄道車両に35年以上の使用実績があるベスタクトリレーの新製品、小型基板…
基板実装型リレー RZDR-G10S, RZDR-G01S ■製品定格・仕様 ○コイル定格電圧 DC12V,DC24V,DC48V ○定格通電電流 3A ○定格使用電流 AC220V 0.5A DC110V 0.3A(L/R=40ms) ○最大投入電流 AC220V 15A(力率0....
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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安川パワーリードスイッチ "ベスタクト" × フロートスイッチ
【フロートスイッチメーカー様へのご提案】 ワンランク上のフロートスイ…
【ベスタクト中容量型素子・R25】 接点構成:1a 定格絶縁電圧:AC250V 定格通電電流:3A 定格使用電圧/電流:*DC110V/0.3A, AC220V/0.5A (*誘導負荷L/R=40ms) 最小使用電圧/電流:DC24V/1mA(より微小領域で検討の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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グロバール規格(UL, CEなど)に対応した、過電流、過小電流、漏電電…
●電流監視リレー ES/ECシリーズ ・AC/DC回路の電流値設定値に対するオーバーカレント/アンダーカレントを監視し、接点信号を出します ・計測電流は1〜200Aまでシリーズ化 ・CT一体型...
メーカー・取り扱い企業: イートン・エレクトリック・ジャパン株式会社
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耐環境性に優れ、様々な特殊仕様にも対応!長寿命のリミットスイッチ
港湾クレーン、大型搬送機械、鉄鋼設備等に使用され、大型ドームの開閉にも…
【リミットスイッチ PSKU、PIKU※シリーズ 接点定格・仕様】 ※PSKU(自動復帰方式)、PIKU(非自動復帰方式) ○定格通電電流 3A ○定格使用電流 AC220V 0.5A DC110V 0.3A(L/R=40ms) ○最大投入電流 AC220V 15A(力率0.3~0.4) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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2023新製品!ケーブルコネクタ、大電流コネクタ、静電気防止製品
メカトロテックジャパンで新製品「JAE製プラグ接続コネクタ」「静電気防…
■JL10接続対応金属製ケーブルコネクタ:C29OU ■帯電防止効果に優れた「静電気防止製品」:NS※ESD、N2BG※ESD、E2BG※ESD ■TERADAと共同開発した「ワンプッシュ&ロック大電流RMコネクタ」 2022年【新製品】 ■超耐屈曲フレキシブルコンジット:NFX ■樹脂製ベアリング式回転ハブ:HR2HG/HR2HM ■ROBOサドル:HRSH、 HRSF ■環境配慮/高難燃プリ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三桂製作所 本社
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場面に合った検出距離を構成可能!セパレート型磁気近接スイッチ!
スイッチ、マグネットユニットの組合せにより場面に合った検出距離を構成可…
【セパレート型磁気近接スイッチ PSMSシリーズ 接点定格・仕様】 ※以下スペックは大容量型になります。その他詳細の仕様、中容量型に関しましては、カタログをご確認ください。 ○定格通電電流 5A ○定格使用電流 AC220V 1A(50/60Hz) DC220V 0.2A(L/R=100ms) DC110V 0.5A(L/R=100...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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時定数が高い誘導負荷の機器でも直接開閉が可能!故障率が低く抜群の信頼性…
【マイクロスイッチ PPUUシリーズ 接点定格・仕様】 ○接点構成 1a、1b ○定格通電電流 3A ○定格使用電流 AC220V 0.5A DC110V 0.3A(L/R=40ms) ○最大投入電流 AC220V 15A(力率0.3~0.4) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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シーケンス制御に最適!自己保持機能を備えた磁気近接センサー!
使えば分かる高い接触信頼性と長寿命!自己保持機能を備えシーケンス制御に…
【メモリー型磁気近接センサー PSMMシリーズ 接点定格・仕様】 ○定格通電電流 5A ○定格使用電流 AC220V 1A(50/60Hz) DC220V 0.2A(L/R=100ms) DC110V 0.5A(L/R=100...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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車両(EV、HEV、PHEV)の電気コンポーネントの電圧、電流、温度計…
車両の電気コンポーネントの電圧、電流、温度計測の課題を包括的に解決します。 より効率的、合理的な計測機能により、安全かつ正確な車載測定を実現します。 車載計測にまつわる手間や失敗等を最小限にして、試験の効率化に貢献します。 ...
メーカー・取り扱い企業: ATI Worldwide LLC 日本支社
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建設、物流現場での搬送車を電動化できる車軸用モータコントローラ
・設計を行いました。キースイッチをはじめとした車両動作に必要な入力、デジタルモデルでは、チューニングしやすいようにCAN-Open通信を標準で用意してます。 例えば、AB200A100では定格電流125A、最大80Vの電源電圧に対応しており バッテリからモータへ大電力供給を可能とします また、防塵防水規格IP65規格に準拠しており、屋外で車両が遭遇する可能性のある過酷な環境でもドライ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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電線、接続材料、保安機材、ブレーカー等!用途に応じた電流通電試験が可能
「ヒートサイクル試験装置」は、電流値、試料温度、電流の出力時間および 出力回数を設定することによって、出力電流を自動制御できる装置です。 最大1600Aの電流を一定周期で試料に印加し、計測した温度及び抵抗値の データを記録...
メーカー・取り扱い企業: 関西電力送配電株式会社 技術試験センター
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高い接触信頼性で長寿命!ロッドプランジャー型補助接点スイッチ
ガラス封入接点により接点磨きが不要で、結露による接点故障も無し! 使…
【ロッドプランジャー型補助接点 PSPD及びPPMUシリーズ 接点定格・仕様】 ※以下スペックは中容量型になります。詳細はカタログをご参照ください。 ○定格通電電流 3A ○定格使用電流 AC220V 0.5A DC110V 0.3A(L/R=40ms) ○最大投入電流 AC220V 15A(力率0.3~0.4) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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機械的なフィードバック機能を備えたノズルフラッパー型油圧用サーボアンプ
『KSVA シリーズ』は、ユーザーが内部スイッチにより、サーボバルブの 定格電流値に合わせて変更できるよう改良した油圧用サーボアンプです。 定格電流100mAまでのサーボバルブに対応可能。 PID回路内蔵、フィードバック信号は2つまで入力できます。 主に、船舶の横...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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『風力発電向けカーボンブラシ』※大手発電機・タービンメーカー採用
運転保守企業様、必見!低湿度地域から海上ステーションまで様々な環境に対…
【風力発電機 推奨グレード】 ※最高整定速度はヘリカル溝リングのみ ◎低電気負荷用 C72 金属含有率:28% 推奨の定格電流密度:14A/cm2 最高整定速度:40m/s ◎低湿度用 A41X 金属含有率:37% 推奨の定格電流密度:18A/cm2 最高整定速度:40m/s ◎標準グレード C80X (真鍮、青銅...
メーカー・取り扱い企業: シュンク・カーボン・テクノロジー・ジャパン株式会社
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自社製のBMSを内蔵し安全性を向上。 BT500シリーズは、様々な用…
仕様 種別 リチウムイオン電池 リン酸鉄系 公称電圧 12.8V 公称容量 25Ah 公称電力 320Wh 電圧範囲 11.2~14.4V 最大充電電流 25A 最大放電電流 25A / 連続 60A/10Sec 推奨充電条件 充電電圧 14.4V 充電電流 2.5A (0.2C) BMU保護機能 過電流保護、短絡保護、過電圧保護、過放...
メーカー・取り扱い企業: アクソンデータマシン株式会社
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自社製のBMSを内蔵し安全性を向上。 BT500シリーズは、様々な用…
仕様 種別 リチウムイオン電池 リン酸鉄系 公称電圧 25.6V 公称容量 50Ah 公称電力 1280Wh 電圧範囲 22.4~28.8V 最大充電電流 25A 最大放電電流 25A / 連続 60A/10Sec 推奨充電条件 充電電圧 28.8V 充電電流 10A (0.2C) BMU保護機能 過電流保護、短絡保護、過電圧保護、過放電...
メーカー・取り扱い企業: アクソンデータマシン株式会社
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自社製のBMSを内蔵し安全性を向上。 BT500シリーズは、様々な用…
仕様 種別 リチウムイオン電池 リン酸鉄系 公称電圧 25.6V 公称容量 25Ah 公称電力 640Wh 電圧範囲 23.4~28.8V 最大充電電流 25A 最大放電電流 25A / 連続 60A/10Sec 推奨充電条件 充電電圧 28.8V 充電電流 5A (0.2C) BMU保護機能 過電流保護、短絡保護、過電圧保護、過放電保...
メーカー・取り扱い企業: アクソンデータマシン株式会社
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「簡易電力計測パッケージby C-BOX」で古い設備、複雑配線な装置の…
る商品となっています。工場/オフィスに関わらず、設備・センサを繋ぐIoTを安価に導入頂けます。 【簡易電力計測パッケージby C-BOXについて】 設備の電線に自己発電式のクランプ式のCT(電流センサ)を取り付けるだけで、何もせずに自動的に使用電力量を測定できます。取り付けが簡単なため、工事などの導入費用を大幅に削減可能。帳票作成に便利なエクセルテンプレートもついてきます。 ■簡易電...
メーカー・取り扱い企業: 新東工業株式会社
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最小1分間隔での電流・電力・温度マルチ計測装置 PTC6464
分電盤やブレーカ単位での電流・電力・温度それぞれ64ポイントの最小1分…
464」は、主幹側や2次側回路の最大64ポイントを1台で計測でき同時に温度・湿度も計測可能な「モニタリングシステムF&MーPortal(アプリケーション)」と連係する製品です (2)最小1分間隔の電流及び電力値の最大・平均・最小値を計測できます (3)NW異常時は装置内に2日間分の計測データを装置内部メモリで保持するなどネットワーク障害などの発生時に計測漏れを起こさない高信頼性を実現しておりま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宮川製作所
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3chの電流センサの計測データをEnOceanでバッテリーレス&ワイヤ…
株式会社ユー・アール・ディーは、1973年に神奈川県横浜市に設立された電流センサおよび電力関連機器の専門メーカーです。 電流センサは、国内での採用実績も多数あり、約600種類の電流センサのほか、各種応用製品やカスタム品の開発にも対応しています。 同社が開発したバッテリ...
メーカー・取り扱い企業: エム・シー・エム・ジャパン株式会社 Product Marketing
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電流・電力・温度等モニタリングシステム(F&M-Portal)
電力設備の分電盤からの電流・電力・温度を計測できるモニタリングシステム…
電力設備の分電盤からSLA管理に必要な電流、消費電力、温度等のリアルタイム性の高いデータを取得、蓄積するとともに、傾向分析を支援し設定値を超えた場合にはアラームでお知らせする監視機能も装備する計測装置とアプリケーションで構成されるシステムで...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宮川製作所
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【鉄道市場向け】高信頼性!基板実装型リレー RZDRシリーズ
鉄道車両に35年以上の使用実績があります!高信頼性かつ耐環境性に優れた…
「基板実装型リレー RZDRシリーズ 接点定格・仕様」 ※以下スペックは大容量型になります ○定格通電電流 5A ○定格使用電流 AC220V 1A DC220V 0.2A(L/R=100ms) DC110V 0.5A(L/R=100ms) ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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「EV充電ステーションの小型化と出力大容量化を実現!」±225Aを表面…
CZ375xは、ホール素子を内蔵した磁気式コアレス電流センサーです。 高感度のホール素子を使用しているため、一般的なコアレス電流センサーでは実現が難しい±115A~±225Aまでの幅広い電流レンジを精度良く測定が可能です。 連続通電も100Arms...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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EV,HEVの高電圧・電流計測の問題を一気に解決。 1500Vガルバ…
高電圧計測モジュール 電流・電圧、電力、温度の計測を実車両、テストラボで行います。 豊富なアクセサリーで計測配線の問題を解決します。 特にインバーターからモーターへの信号計測には、低シャント抵抗のブレークアウトボックスが...
メーカー・取り扱い企業: ATI Worldwide LLC 日本支社
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「EV充電ステーションの小型化と出力大容量化を実現!」±180Aを表面…
CZ370xは、ホール素子を内蔵した磁気式コアレス電流センサーです。 高感度のホール素子を使用しているため、一般的なコアレス電流センサーでは実現出来ない幅広い電流レンジの測定が可能です。 60Armsの連続通電が可能で、±180Aまで精度良く検出し...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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『無料サンプル』進呈中!【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…
電流センサーの世界市場は、2022年の22億1,000万米ドルから2023年には24億3,000万米ドルに、CAGR9.8%で成長すると予測されています。ロシア・ウクライナ戦争は、少なくとも短期的には、COVID-19パンデミックからの世界経済回復の可能性を混乱させました。この2国間の戦争は、複数の国に対する経済制裁、商品価格の高騰、サプライチェーンの混乱を招き、商品やサービス全体にインフレを引き起こし...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社グローバルインフォメーション
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【英文市場調査レポート】残留電流遮断器(RCCB)の世界市場
『無料サンプル』進呈中!【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…
世界の残留電流遮断器(RCCB)市場は、2022年の21億1,000万米ドルから2023年には22億9,000万米ドルへ、CAGR8.3%で成長すると予測されます。ロシアとウクライナの戦争は、COVID-19パン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社グローバルインフォメーション
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大電流基板を開発・設計する際に着目するポイントについて
モーター基板や産業機器向け電源、あるいは車載用基板など昨今は大電流基板と呼ばれるような厚銅基板や放熱基板を使った開発品が増えてきました。 通常のプリント基板で1Aの電流を流す場合には、銅箔厚35μm と 幅1mm で計算することが多いため、開発時にはどうしても銅...
メーカー・取り扱い企業: アート電子株式会社 本社
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省スペースでModbus通信の遠隔監視が容易に実現できる計測機能内蔵の…
省スペースでModbus通信の遠隔監視が容易に実現できる 計測機能内蔵の交流電流センサ ・汎用プロトコルであるModbus(RTU)を採用 ・センサは1台から通電状態で取付可能 ・センサに計測・通信機能を内蔵、分電盤内のせまいスペースでも設置可能 <PAL-P...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トリコ 東京支店
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対応規格はJEM1460!試料飛散の影響を考慮することなく試験を行うこ…
当社で取り扱っている「低圧短絡試験装置」についてご紹介いたします。 意図的に短絡回路を構成し、試料に過大な電流を印加。 試験電圧は幅広い電圧に対応し、三相においては、デルタ結線、スター結線を 任意に設定し、電圧出力が可能です。 また、短絡により試料が破損し飛散する恐れがあるため、試料は防爆室内に 設置しま...
メーカー・取り扱い企業: 関西電力送配電株式会社 技術試験センター
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1000W~3000W:再生可能エネルギー発電機 ・高効率・低価格 水…
風力発電などさまざまな用途に使用されてきました。性能・価格ともに非常に魅力的な一台です。 仕様: [REG-1K] ○定格出力(W):1000 ○定格出力電圧(V):165 ○定格出力電流(A):6.0 ○定格回転数:1000 ○サイズφ(mm):236 [REG-2K] ○定格出力(W):2000 ○定格出力電圧(V):160 ○定格出力電流(A):12.5 ○定格回...
メーカー・取り扱い企業: コアレスモータ株式会社 本社
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車両の低電圧電流値をフューズボックスから直接検出。車両の回路配線を加工…
車両のフューズボックスに直接差し込むだけで、車両の回路配線を加工することなく、シャント抵抗による回路電流の検出を行います。シャント抵抗はアルミ筐体に内蔵されており、回路保護はオリジナルのフューズをアルミ筐体に差し込む事でフューズ定格を間違えることなく行えます。車両の電流値を安全かつ容易に検出できます。...
メーカー・取り扱い企業: ATI Worldwide LLC 日本支社
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FAシステムのリレーでよくあるお困りごとを解決!ベスタクトリレー
FAシステムにご使用のリレーで見られる接触不良・寿命不足・サージ電圧に…
頻度開閉にも最適なリレーです。 誘導負荷遮断時はグロー放電を行うためサージが少なく、他リレーで見られる接点開閉時のサージ電圧で周辺機器の電子部品を破損させることもありません。 半導体リレーの漏れ電流で装置が誤動作する不具合にも、機械接点で完全な絶縁(接点間耐電圧800V / 1分間)が取れるFA市場向けベスタクトプラグイン型リレーが解決します。 FAシステムに使用されるリレーのお困りごとを解...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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1000W~3000W:再生可能エネルギー発電機 ・高効率・低価格
仕様: [REG-1K] ○定格出力(W):1000 ○定格出力電圧(V):165 ○定格出力電流(A):6.0 ○定格回転数:1000 ○サイズφ(mm):236 [REG-2K] ○定格出力(W):2000 ○定格出力電圧(V):160 ○定格出力電流(A):12.5 ○定格回...
メーカー・取り扱い企業: コアレスモータ株式会社 本社
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低レベル信号でも高い接触信頼性を実現!長寿命なマイクロスイッチ!
低レベル信号回路からパワー回路まで、稀頻度から高頻度使用まで、 使え…
【マイクロスイッチ PPUUシリーズ 接点定格・仕様】 ○接点構成 1a、1b※ ○定格通電電流 3A ○定格使用電流 AC220V 0.5A DC110V 0.3A(L/R=40ms) ○最大投入電流 AC220V 15A(力率0.3~0.4) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社べスタクト・ソリューションズ
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【防災・環境商材】簡単設置で省エネ!「エレクトロライフ」
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約1秒で結果を表示する短時間計測が可能!発電システムの竣工点検…
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2線式レーダーレベル計 Pulsar『REFLECT』
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リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバ…
ティー・ケイ・エス株式会社