【研磨機】「IS-POLISHER」の事例集２

「IS-POLISHER」は、試料のアルゴンイオンビームによる研磨の前工程で⼒を発揮する、新しい試料製作システムです。

断面サンプルの作製が早くて綺麗（ICの研磨）、拡大観察のサンプル作製（傾斜研磨）、
前処理研磨が15分でできる（クロスセクション・イオンミリング）、
EBSD法のサンプル作製が研磨できる（結晶方位解析）等を実現しております。

本資料では「IS-POLISHER」の特長をはじめ、本体部分や機能の説明、
オプションからデモルームの紹介等をわかりやすく細やかにご説明しております。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

PKGの実装前の観察画像に対し、基板実装後に内部の様子に変化が生じたため、観察画像の結果より、故障部位の｢平面研磨｣及び｢断面研磨｣を行い、原因の特定を行いました。同モードの不良がいくつかある場合には、平面研磨・断面研磨と両方からの解析及び観察ができます。変化した部位に空洞が発生していることから、電子部品と基板間には半田ボールで接続後、アンダーフィルを流し込み密着性を上げました。この白い部分には｢隙間｣が発生したと考えられます。
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付属のウェイトキャンセラーを使うことで試料に掛かる圧力を自在にコントロールすることができるため、アルミ・銅・半田などの柔らかい金属材料から硬い金属材料の研磨を行うことができます。さらに綺麗な仕上げが必要な場合は、イオンミリングやクロスセクションポリッシャーなどのイオンビームによる研磨が可能です。
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アルゴンイオンビーム装置による研磨の仕上り具合は、イオンビームを行う前の試料の状態で、仕上り具合に大きく影響します。IS－POLISHERでは、各メーカーの専用のホルダーを用意し、従来難しかったフラット面や直角面を、短時間で精度良く綺麗に、そして簡単に前処理を行うことができます。イオンミリングの前処理、クロスセクションポリッシャの前処理（CP、日本電子）・フラットミリングの前処理に最適です。
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2軸傾斜ホルダーで微小な角度調整を行い、チップコンデンサなどの極小部品の斜め研磨が簡単にできます。また、メッキや薄膜などの断面を傾斜させることで、幅広い観察が可能となりました。株式会社池上精機は、半導体・自動車・医療・電子部品・金属・セラミックス・高分子などの最先端の技術を要する分野の研究を行っている、企業・大学・研究機関のお役に立つ製品づくりを行い、日本の発展に少しでも貢献することを目指しております。
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耐水ペーパー、ダイヤモンドフィルム・アルミナフィルム、炭化ケイ素フィルム、バフシートなど、様々な用途に合わせた研磨剤をご用意しています。株式会社池上精機は、半導体・自動車・医療・電子部品・金属・セラミックス・高分子などの最先端の技術を要する分野の研究を行っている、企業・大学・研究機関のお役に立つ製品づくりを行い、日本の発展に少しでも貢献することを目指しております。
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