会社案内

『ヒートビームシリンダー』は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を
効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。

クリーンな加熱方法なので、プロセスガスの加熱に適しています。

窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると
反応生成物の付着を防止できます。また水を直接加熱して過熱水蒸気発生装置と
することができ、様々な用途での使用が期待されます。

【特長】
■900℃以上の過熱水蒸気を発生するので広い分野で使用が可能
■コンパクトなサイズだから、ユースポイントの近くで過熱水蒸気を発生できる
■水から直接 過熱水蒸気の生成も可能であり、ボイラーが不要
■自由な配置・組み合わせができるので並列、直列、縦置、横置、装置直結も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社は、テストウエハの半導体技術でお客様の技術開発を支援しております。
テストウエハのサービスは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を提供し、
チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは
12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能、
ウエハサイズは300mm、200mm、チップ測定に対応しており、
お客様の設備でプラズマ処理を行ったウエハを測定し、
I/Vカーブ、Vbdマップのデータをご提供しております。

また、TDDB（Qbd）測定サービスも可能です。

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株式会社フィルテックは、テストウエハと小型高効率熱交換器
(ヒートビームシリンダー)でお客様の技術開発を支援します。

テストウエハサービスでは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を
ご提供。更に、チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは
12インチウエハでも提供可能であり、世界的に評価されています。

【事業】
■テストウエハソリューション事業
■装置部品事業
■コンサルティング事業

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高効率小型熱交換器（ヒートビームシリンダー）は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。

過熱水蒸気には、乾燥、除菌、減容など様々な使用用途があります。
使用される業界も、産業廃棄物・半導体・金属・ガス・食品・医療など様々です。

当社では、"過熱水蒸気による無酸素アニール"のデモを開始しました。

窒素がなくても、変色なくアニールできるのでランニングコストを低減。
有機物と反応しやすい過熱水蒸気の特性を利用したアニールができます。


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当社は先端の半導体技術によるテストウエハで、お客様の技術・製品開発を強力に支援しております。
（ベアSiウエハ/ 膜付ウエハ/パターンウエハ)

トレンチパターンパターンウェハ『PT063』は、ボッシュプロセスによる深堀エッチング技術により高アスペクト構造を実現しております。
当社の標準レイアウトで、マスク寸法0.2µm~10µmのトレンチパターンを配置しており、最大アスペクト比は40~65程度となります。
開発効率化を求める皆様のニーズに答える製品としておすすめいたします。是非ご活用ください。

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当社は先進の半導体技術を背景に、テストウェハのソリューションを提供し、お客様の装置・材料・プロセスの評価・開発を総合的にサポートしております。

提供範囲は、ベアウェハから始まり、ブランケット膜付きウェハ、パターンウェハ、CMP評価ウェハ、プラズマチャージモニタウエハ、TSV評価ウェハ、電気特性評価ウェハ、MEMS混載ウェハまで、多岐にわたります。

私たちの強みは、半導体開発のエキスパートチームの深い専門知識と20年にわたる経験です。これらはお客様との信頼関係の中で蓄積された技術・ノウハウと相まって、お客様の多様なニーズに迅速かつ確実にお応えすることを可能にしています。
さらに、世界各地に広がる半導体製造ネットワークを駆使して、最適なソリューションを提案いたします。

技術的なご相談や製品のご要望がございましたら、お気軽にご連絡ください。私たちは常にお客様の成功の一翼を担うパートナーとして、最高のサポートを提供いたします。
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20年以上の長きにわたり、当社は半導体の最先端技術を背景に、テストウエハでお客様の技術・製品開発を力強くサポートして参りました。
特に、パターンウェハの領域では、当社の専門性が光ります。

私たちが提供するパターンウェハは、Line&Spaceからホールパターン、ピラーパターンといった標準レイアウトを取り揃えています。また、材料選択においても、Si、SiO2、Poly-Si、レジストなど、お客様の多岐にわたる要望に柔軟に応えることができます。さらに、標準レイアウトに縛られず、カスタム設計も承っております。お客様のパターンレイアウト案に基づき、専用CADファイルの作成からマスク製造まで、一貫したサービスを提供しています。

当社のネットワークは国内だけに留まらず、世界各地の半導体製造ネットワークを活用し、お客様に最適かつ高品質なソリューションをご提案いたします。技術的なご相談や製品に関するご要望がございましたら、どうぞお気軽にお問い合わせください。
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