圧電アクチュエータ(ピエゾ素子)を応用した超精密位置決め機器、ならびに力計測センサの製造メーカ
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。
当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。
また、μN~mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。
カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。
詳細情報
製品・サービス(28件)一覧
カタログ(16件)一覧
THKプレシジョンへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。