ナノ粒子成膜テクノロジーは当社におまかせください
当社は、数十年の長期にわたり、ナノ粒子および微粒子のノズル噴射による
膜形成技術の研究開発を進めてきました。
エアロゾル化ガスデポジション装置をはじめ、ガスデポジション装置および
ナノ粒子関連装置(カーボン系を含む)の事業を柱とし、それら装置の
製造・販売を行なっています。
■エアロゾル化ガスデポジション(AGD)装置の製造・販売
・AGD;セラミックス微粉をガスと共に搬送しノズルから噴射させ
緻密な膜を常温で形成する装置
■ガスデポジション(GD)装置の製造・販売
・GD;金属ナノ粒子の高速噴射による、低温・マスクレスの
乾式直接描画装置
■AGDおよびGDを使用した受託試作膜形成
■ナノ粒子関連装置の製造・販売
・メタル&セラミックスナノ粒子、カーボンナノホーン、
カーボンナノチューブ、メタルフラーレンなど
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