株式会社プレテック

株式会社プレテック　洗浄機器　総合製品カタログ

最新のテクノロジーを駆使し、より精密で高品質な洗浄装置を提供します。

株式会社プレテックは、微塵もない、そんなクリアな世界をお届けすることで最先端テクノロジーを根底から支えています。これからもテクノロジーが求める技術進化に的確に対応するべく超洗浄の研究開発に挑み続け、未…

株式会社プレテック　会社案内

高周波・超音波洗浄を事業領域として産業と生活を支えるマザーツールを提供

株式会社プレテックは、飛躍的に進化する技術革新の中で、常に独自性のある先端技術開発企業というビジネスモデルを確立すべく、日々研究開発活動を推進しています。プレテックの提供する製品群は、半導体ウェハーメ…

ファインシリーズ

あらゆるメガソニック洗浄に対応できる機種ラインアップ

豊富な実績に裏つけられたアプリケーションノウハウを同時に提供可能！

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能（750/…

カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）

ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能

＜特長＞ ・カセット接触部の洗浄ムラも解消。 ・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。 ・消費電力を大幅にカット。 ・ 槽間移動時の薬液量を少量化。 ・ファインソニック（高周波…

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション…

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、…

スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。

◆薬液対応ファインジェット＆EDジェットにより高い洗浄能力を実現 ◆非接触洗浄(プラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ◆１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に …