『レガシー（Legacy）』と呼ばれる古いマスフロ― サポートのご提案

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と…

超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現

蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも…

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行します

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま…

厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリ」のメータとコントローラなら ではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、 プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な…

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異な…

ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定のご紹介です！

『5700シリーズ』は、パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズ を想定して作られたエラストマシールマスフローメータです。 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号 を備え、コスト効率と安定性に優れています。 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで 経済的なマスフローメータが必要でしたら、当製品をお選びください。 …

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間（セ…

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います

『5850E/iシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに 使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、 現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の 高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿…

実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします

『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、 柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。 さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。 当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、 この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に 使用します。 【特…

実証済みの小流量レートにおけるパフォーマンス。様々なニーズにマッチする汎用オプションをご用意！

『ショーレートモデル 1350G, 1355G』は、様々な種類の気体や 液体用に適したガラス管面積流量計です。 基本構成は、316SS製エンドブロックやアダプタ、バルブと共に ホウケイ酸ガラス製テーパ管が一つのアルミニウム製フレームに 組み込まれてたものです。 それに加えて様々なアプリケーションに対して適切な構成を 提供するため、それ以外の材質やフローコントローラもオプション …

ご希望の流量に合わせて当社指定のスケール/目盛の選択ができる流量計

『Model GT1600』は、安全なご使用のために選択した高品質な材料で できており、室内・屋外問わず使用可能なガラス管面積式流量計です。 目盛窓を360度回転可能で、好みの方向から視認できます。 また、GT1000xxシリーズ, GT1300シリーズ Full-View製品の置換えに対応しております。 【特長】 ■SUS316 ステンレス製フレーム ■透明ポリカーボネートカ…

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長…

各種気体、液体および蒸気への適用に好適！幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応したメータです

『MT3809Gシリーズ』は、ローカルオペレーターの操作用としてデジタル LCDディスプレイを備え、合計量表示やアラーム信号など価値の高い プロセス出力を表示する金属管面積式流量計です。 カバーを取り外さずにユーザー側でパラメータを変更可能。 危険区域でも変更を加えることができます。 また、電源が利用できない場合でも、アナログまたはデジタルインター フェースで制御システムと通信…