PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726 ピーアイ・ジャパン

大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクス実現

P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる
今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい
大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。

【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング
・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz）
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能～0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ

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基本情報PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726

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型番・ブランド名	P-726 PIFOC(R)高荷重対物レンズスキャナ
用途／実績例	応用例・3D画像・スクリーニング・オートフォーカスシステム・顕微鏡・共焦点顕微鏡・表面形状解析・ウェハー検査