周辺機器　真空プローバーシステムエイエルエステクノロジー

お客様のニーズに応えて新しい真空システムの誕生です！

当社では、お客様のニーズに応えて新しい真空システム
『周辺機器　真空プローバーシステム』の設計・製造・販売を行っております。

【特徴】
○真空チャンバー部分は内寸φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）と
大き目な設計のため冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能
○本体寸法：420ｍｍ（幅）ｘ420ｍｍ（奥行き）ｘ545ｍｍ（高さ）
○チャンバー内寸：φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）：3ポート
○真空排気ポート（NW40)：1ポート
○プローブ移動機構：X-Y-Zステージ　移動量±5ｍｍ
　　　　　　　　　　　　　　目盛り付き移動シール部　真空ベローズ
○プローブ先端金具：先端部首振り可能（ねじ固定式）
○探針：タングステン針（先端25μｍ）
○試料台寸法：φ70ｍｍ接地型
○最大基板：口30ｍｍ
○高真空バルブ：NW40アングルバルブ

基本情報周辺機器　真空プローバーシステム

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取扱企業周辺機器　真空プローバーシステム

株式会社エイエルエステクノロジー

■研究用真空装置の製造販売・有機EL研究用蒸着装置・昇華精製装置・キャリアボックス・試験用チャンバー・スパッタリング装置・UHV排気装置・特注真空装置・特注真空応用部品・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売・ULVAC社の扱う真空部品などの販売・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売　（東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス）　蒸着ボートの販売