シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。
フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。
位置決めの事なら何でもご相談ください。
■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。
■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。
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基本情報総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
◆大気用位置決め装置
自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。
◆真空対応システム
光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループ制御を実現しております。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 精密な位置決めが必要な研究、開発、検査 光学分野の研究用途 半導体描画装置の試料ステージ 顕微鏡ステージ |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020UPX | 20mmストローク、1nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020SPX | 20mmストローク、5nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020PX | 20mmストローク、10nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020X | 20mmストローク、100nmまたは50nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FC-911 | 1nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-611 | 5nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-511 | 10nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-411 | 50nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-111 | 100nm分解能フィードバックステージコントローラ |
カタログ総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
取扱企業総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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