プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】魁半導体

使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水等に

使い勝手が良い卓上型の真空プラズマ装置「プラズマエッチャー」シリーズに新ラインナップ、セミオートタイプが登場！従来より更に小型化、省スペースでの設置が可能。
オート、マニュアルの両機能を備え更に使いやすくなりました。
タッチパネルでマニュアル操作や事前にレシピを設定し1ボタンの簡単操作も可能。
ステージサイズはφ100mm～φ1000mmで自由に選ぶことができます。
一般的なセラミック・金属・樹脂の親水化・接着強化の他、PTFE(テフロン)の処理や各種素材の撥水処理、エッチングや薄膜形成などにお使いいただけます。
オプションでの冷却機構やガス系統追加等のオーダーメイドも承っております。

基本情報プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】

・仕様
型式 CPE-300S
外形寸法 680(W)×785(D)×1020(H)
チャンバー寸法 Φ300mm, H30mm
※オプションで変更可能
重量 80kg
電源出力 300W(13.56MHz)
ガス系統 1系統　
※オプションにて複数系統対応可能
ガス制御マスフローコントローラー
電源 100V, 15A (50Hz/60Hz)

価格情報	￥6,930,000 仕様によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
価格帯	500万円 ~ 1000万円
納期	お問い合わせください ※3ヶ月
型番・ブランド名	CPE-300S
用途／実績例	【表面改質】・表面改質/ドライ洗浄/親水性の向上/接着効果の改善/ 　印刷・塗装の前処理/有機物質の除去/濡れ性の向上/細胞培養等・・・【エッチング】・ドライエッチング(樹脂・金属・セラミックス) 【製膜】・SiO2膜、炭化水素膜などの形成【実例】 ☆内容・PTFE(テフロン)の親水化・接着前処理・ガラスの洗浄・接着前処理・LSIの洗浄・接着前処理・樹脂成型品の洗浄・接着前処理・太陽電池、燃料電池の基板洗浄・有機EL 、デジタルサイネージ関連ディスプレイ、液晶基板の端子洗浄・ワイヤーボンディングの前処理・フィルムの洗浄・接着前処理・MEMSの洗浄等・メッキ前洗浄・紙への印刷前処理・半導体プレート洗浄・シリコンウェハーの洗浄　等・・・・