半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater エイ・エス・エイ・ピイ

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製可能です！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！

ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

【特長】
■半自動レジスト塗布機（セミオート）で低価格を実現
■2～12インチまで対応可能
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

【主な仕様例】
■スピン塗布ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。