コーター Coater

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。
高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。
低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。

ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！

【特長】
■スピンプロセスによる膜厚分布の高均一性
■2～12インチまで対応可能
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■自動ウェハサイズ検知機能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

デモ設備を常設していまので、まずはデモをご検討ください！ （詳細を見る）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！

ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

【特長】
■半自動レジスト塗布機（セミオート）で低価格を実現
■2～12インチまで対応可能
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪

自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。

卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出しが必要なく、同じレシピが使用できます！

ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります！

【特長】
■手動レジスト塗布機（マニュアル）で低価格を実現
■2～12インチまで対応可能
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。

低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。

レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！

その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！

シリコン（Si）、サファイア、セラミック、LT、GaAs、InP、GaN、SiC、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板もご安心ください！

【特長・強み】
■お手頃価格を実現
■ウェハサイズ自動検知機能
■自動ウェハ検知機能（マッピング）搭載
■2～12インチまで対応可能
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

高粘度レジストの塗布に強みを持っています！

例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5％以内に納めます（φ300mmウェハ）

ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です（保有特許：第3821468）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ検知機能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

デモ設備もありますので、ご興味があれば一度無償デモをご検討ください！

 （詳細を見る）

当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます！

細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み）

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップをご用意しています。
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■特許取得済みの回転カップ方式塗布
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

ベローズポンプやシリンジの対応も可能です！

マニュアル機～フルオート機までお客様の生産量に合わせて設計から製造まで行います。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■高粘度塗布でも高均一性（一度塗り）
■低価格を実現
■自動サイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！

弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。

削減の幅は薬液によりますが、使用量3割～7割の削減実績があります。

生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、カスタム性の向上と低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

デモ設備は常設しておりますので、気になる方はデモ依頼やお問い合わせください。

【特長】
■低価格を実現
■カスタム性が高い
■自動サイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■レジスト削減で多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。

ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。

GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。

また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫することでかなり改善できます。

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準で搭載。

お客様のご要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル機～フルオート機までご提案できます。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

【特長】
■薄ウェーハ対応ロボット
■薄ウェーハ対応チャック
■低価格を実現
■ウェーハサイズを自動認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。

実績例
■2・3・4インチ兼用装置
■4・5インチ兼用装置
■4・6インチ兼用装置
■6・8インチ兼用装置
■8・12インチ兼用装置

ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、
まずはお気軽にご相談ください。

2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質半分になります！

もちろんスピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準搭載しています。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

【特長】
■複数インチサイズウエハの兼用（段取り替えなし）
■自動ウエハサイズ認識での自動運転
■低価格を実現
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■レジスト削減で多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。

塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。

ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。

ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■ウェハサイズを自動認識して処理
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。

また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

装置幅が300mmのミニマルな装置を作製できます！
幅は300mmですが、その分高さと奥行きはそれなりの長さになります。

300mm幅での装置作製実績があるので、後はメンテナンス性やトラブル時の部品交換などのランニングコストを考慮して装置の大きさを決定していただけます。

設置スペースの制限や建物の出入り口の大きさの制限、エレベーターなどの設置位置までの搬送ツールの大きさの制限などに対応できます！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理機能を搭載。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、フルカスタマイズ・低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

【特長】
■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い）
■反りウェハの搬送も可能！
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

ロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。

トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬送も問題なく行えます。

ロボットは搬送フローの自由度が高いですが、塗布・ベークと決まった搬送フローであれば、並列の搬送システムを使用することで大量処理が可能です（量産向け）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

フルオート機でも生産量に合わせたラインアップをご用意しております。
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

【特長】
■低価格を実現
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応
■2～12インチまで対応
■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用)
■ウエハサイズ自動認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

【ASAPのコーター・デベロッパー機能】
●スピンコーティング
●HMDS処理
●ベーク
●クーリング
●現像
●リンス

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！

【ASAPの特長・実績】
●ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど多彩な薬液の使用実績あり
●Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績
●GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！

ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板や角基板の搬送実績も多数あります！

【特長】
■低価格を実現
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■回転カップ塗布方式による均一な成膜分布
■2～12インチまで対応可能
■複数種類ウエハ処理可能（3・4・5インチ兼用)
■ウエハサイズ自動認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！

ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！

【特長】
■段取り替え不要で、2サイズウエハ処理可能。
■低価格を実現
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■2～12インチまで対応可能
■ウエハサイズ自動認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。

設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。

対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

露光工程は、オートアライメント機能搭載可能
ポジ・ネガ反転工程にも最適です。

【特長】
■フォトリソ工程を自動一括処理
■低価格を実現
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■2～6インチまで対応可能、□4インチも実績あり
■ウエハサイズ自動認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション
■各プロセス単独動作可能
■オートアライメント機能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

【特徴】
・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御
・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式）
・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ
・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション）
・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能

高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。

ポリイミドの使用温度や保存温度に対応するため、シリンダに対応したディスペンサータイプのスピンコーターの実績もございます。

塗布量削減と均一な厚膜を可能とした回転カップ式スピンコーターが高価な高粘度ポリイミドにはお勧めです。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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