大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーターエイ・エス・エイ・ピイ

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。

また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

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納期	お問い合わせください ※5～6ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。