高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）エイ・エス・エイ・ピイ

高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドでも面内均一は±５％以内が標準で±３％以内の実績です。

高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

ベローズポンプやシリンジの対応も可能です！

マニュアル機～フルオート機までお客様の生産量に合わせて設計から製造まで行います。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■高粘度塗布でも高均一性（一度塗り）
■低価格を実現
■自動サイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。