株式会社エイ・エス・エイ・ピイ 半自動フォトレジスト現像装置(セミオートデベロッパー)
- 最終更新日:2023-04-04 17:24:46.0
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自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。
当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。
自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では
工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです!
御社のニーズに合わせた半自動機を設計・製造いたしますので
新規装置の導入でお困りのお客様はぜひご検討ください!
TMAH等多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■自動搬送機能
■低価格を実現
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報半自動フォトレジスト現像装置(セミオートデベロッパー)
【主な仕様】
■スピン現像ユニット:1組
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12"
■現像ノズル:1組/CUP~
■リンスノズル:1組/CUP
■ベークユニット:1組(Max200℃)
■クーリングユニット:1組
■センタリングユニット:1組
■装置サイズ:(例)1300×1450×1800(Φ4"本体・電源・薬液一体)
その他オプション多数!
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※3~4ヶ月(通常)、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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