製品のご案内カタログ

当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う
製品をご案内しております。

センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、
「マスクアライナー」や「自動リフトオフ装置」などを掲載。

すべての装置においてサンプルテストが可能ですので、
いつでもお気軽にお声をお掛け下さい。

【掲載内容】
■製品ラインアップ
■参考外観図
■営業・サービス拠点
■事業所在地

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、枚葉式で現像、前面露光（反転露光）、ベーク、クーリング機能を搭載。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

TMAH等多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■自動サイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

枚葉式フォトレジスト現像装置です。

パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。

薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！

また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。

当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット）

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

TMAH（水酸化テトラメチルアンモニウム）、炭酸ナトリウム、コリン水溶液など多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■安定した現像プロセス！
■低価格
■自動サイズウエハ認識
■多彩な薬液に実績あり
■仕様に合わせたコンパクト設計！
■生産量に合わせた装置ラインアップ

デモ設備は常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします。 （詳細を見る）

当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。
自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では
工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです！

御社のニーズに合わせた半自動機を設計・製造いたしますので
新規装置の導入でお困りのお客様はぜひご検討ください！

TMAH等多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■自動搬送機能
■低価格を実現
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。
薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。

マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。

研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。

TMAH等多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■低価格を実現
■コンパクト！
■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーも選択可能
■多彩な薬液に実績あり

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。

リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。
当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！

また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

TMAH、コリン水溶液、Na2CO3等多彩な薬液に実績があります。

また、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。

【特長】
■PEBによる逆テーパー角の安定
■自動ウエハサイズ認識機能
■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーの対応可
■フットプリントの低減
■生産量に合わせたラインアップ

デモ設備も常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします！ （詳細を見る）

1流体スプレー方式の現像装置です。

現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。

大型基板や厚膜の現像に最適です。

スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。


当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

TMAH等多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■1流体スプレーを搭載（パドルと併用可）
■自動ウエハサイズ認識
■フットプリントの低減
■生産量に合わせたラインアップ

デモ設備を常設しておりますので、デモのご検討をお願いします！ （詳細を見る）

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。

N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。

液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法など幅広くスプレーの吐出パターンを選べます。

スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

TMAH等多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■2流体スプレーを搭載！（パドル併用も可）
■自動ウエハサイズ認識機能
■多彩な薬液に実績あり
■コンパクト設計
■生産量に合わせたラインアップ

デモ設備を常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします！
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枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。

ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。

薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に繋がります。

液盛り方法もシャワータイプからストレートノズルなどご要望にお応えできます。

静止現像中の揺動機能も搭載！
（低回転と停止を繰り返して液を動かします）

枚葉式で現像、、リンス、ベーク、クーリング機能を搭載。

お客様のニーズと生産量に合わせて、設計から製造・販売いたします。

TMAH等多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■現像結果の高い再現性
■薬液使用量の低減
■自動ウエハサイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■生産量に合わせた設計が可能

デモ設備を常設しておりますので、デモのご検討をお願いします！ （詳細を見る）

【特徴】
・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御
・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式）
・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ
・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション）
・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能

高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。

ポリイミドの使用温度や保存温度に対応するため、シリンダに対応したディスペンサータイプのスピンコーターの実績もございます。

塗布量削減と均一な厚膜を可能とした回転カップ式スピンコーターが高価な高粘度ポリイミドにはお勧めです。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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