静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）エイ・エス・エイ・ピイ

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです

枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。

ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。

薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に繋がります。

液盛り方法もシャワータイプからストレートノズルなどご要望にお応えできます。

静止現像中の揺動機能も搭載！
（低回転と停止を繰り返して液を動かします）

枚葉式で現像、、リンス、ベーク、クーリング機能を搭載。

お客様のニーズと生産量に合わせて、設計から製造・販売いたします。

TMAH等多彩な薬液に実績があります。

【特長】
■現像結果の高い再現性
■薬液使用量の低減
■自動ウエハサイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■生産量に合わせた設計が可能

デモ設備を常設しておりますので、デモのご検討をお願いします！

基本情報静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	パワーデバイス、SAWフィルター、LED、LD、通信関係の分野での販売実績がございます。