ペガサスソフトウェア株式会社 スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）
- 最終更新日：2020-10-06 17:25:04.0
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『スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）』は、
PIC-MCCMの計算結果（ターゲットへの入射イオンのフラックス、エネルギー、
入射角）を参照し、SASAMALを用いて、スパッタリング粒子の放出フラックス
や角度分布、エネルギーを計算するモジュールです。
粒子法を取り入れたプラズマ解析をおこなうPIC-MCCMで計算できる入射
イオンのデータを入力データとして用いることができ、より真実味のある
入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能。
また、入力方法もデータフォルダーの指定をするだけで簡単に取り込めます。
【特長】
■スパッタリング粒子の放出フラックスや角度分布、エネルギーを計算する
■粒子法を取り入れたプラズマ解析をおこなうPIC-MCCMで計算できる
入射イオンのデータを入力データとして用いることができる
■より真実味のある入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能
■入力方法もデータフォルダーの指定をするだけで簡単に取り込める
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）
【機能一覧（一部）】
■応用分野：スパッタリング現象解析
■モデリング手法：粒子法
■解析手法：2体衝突近似に基づく動的モンテカルロ法
■対象次元：1次元
■ソルバー：ドライバー SPUTSM／モジュール SASAMAL
■GUI機能：付属のGUIMを使用（PNGファイル出力、印字出力、テキストデータ入出力、表示画面の任意拡大縮小）
■プレポスト：付属のGUIMを使用
■付属機能
・PIC-MCCMの計算結果取り込み機能
・表面結合エネルギーのデータベースを内蔵
・弾き出しエネルギーのデータベースを内蔵
・反跳カスケード追跡
・バックグラウンド計算
■解析規模：無制限（実際にはメモリー容量と計算時間で制限されます）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログスパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）
取扱企業スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）
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真空／プラズマ／希薄気体技術分野での物理現象を解析するシミュレーションソフトウェア；ＰＥＧＡＳＵＳ（プラズマ材料プロセス／希薄気体統合シミュレーションツール）を、自社独自で開発し販売しています。またそれに伴う技術受託解析や特殊カスタマイズ、特注ソフトウェア開発も行います。 ＰＥＧＡＳＵＳは、真空中での粒子挙動、プラズマ挙動、デポジション／エッチング挙動などを解析でき、これは、半導体、ディスプレー、光学、電気、電子、ＩＴそして環境関連産業などの分野で利用される、蒸着、ＣＶＤ、スパッタ、イオンプレーティング、ドライエッチングそして表面改質などの薄膜技術の製品開発をおこなう技術者／研究者にとって 『装置の設計・開発・改良・評価』 『材料、デバイスの開発・製造』 『プロセス技術の予測・開発・改良』 の効率化、実験及び試作コストの軽減を目的とした支援シミュレーションソフトウェアとなります。
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