ペガサスソフトウェア株式会社 中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）
- 最終更新日：2020-10-06 17:25:04.0
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『中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）』は、多数のサンプル粒子を配置し、
それらの粒子の衝突を物理モデルに従って確率的に引き起こして挙動を
追跡していくといったDSMC法（粒子モデル）を用い、いろいろな真空装置内の
希薄気体の流れ場を解析するためのモジュールです。
エッチング装置、薄膜製造装置、スパッタリング装置内の電荷を持たない
中性粒子（バッファガス、ラジカル種、スパッタリング粒子）の挙動を
解析することが可能。
また、新衝突計算法を指定することにより粘性流領域(Kn<0.01)の解析もできます。
【特長】
■原理的には自由分子流から常圧の気体の流れ場までを解析できる
■計算量の問題から、低圧の流れ場に適用するのが有効
■新衝突計算法(U-system)を指定することにより、平均自由行程以上の
セルサイズでの計算が可能
■PIC-MCCMやPHMとカップリングすることにより、ラジカル種やスパッタリング
粒子の挙動も（テスト粒子モンテカルロ法を用いて）高速に計算することが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）
【機能一覧（一部）】
■応用分野：真空装置・ポンプを含む装置内での希薄気体流れ
・一般的な希薄気体条件下での中性粒子の気体流れ解析
・スパッタリング粒子挙動解析（スパッタ装置内の基板堆積）
■モデリング手法：粒子法
■解析手法：DSMC法およびテスト粒子モンテカルロ法
■対象次元：2次元（デカルト座標系、軸対称座標系）
■ソルバー：ドライバー DSMCM／モジュール DSMCM
■座標系：デカルト（xy直交）座標系／円筒（rz直交）座標系
■メッシュ形状：直交メッシュ（可変ピッチ可能）
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）
取扱企業中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）
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真空／プラズマ／希薄気体技術分野での物理現象を解析するシミュレーションソフトウェア；ＰＥＧＡＳＵＳ（プラズマ材料プロセス／希薄気体統合シミュレーションツール）を、自社独自で開発し販売しています。またそれに伴う技術受託解析や特殊カスタマイズ、特注ソフトウェア開発も行います。 ＰＥＧＡＳＵＳは、真空中での粒子挙動、プラズマ挙動、デポジション／エッチング挙動などを解析でき、これは、半導体、ディスプレー、光学、電気、電子、ＩＴそして環境関連産業などの分野で利用される、蒸着、ＣＶＤ、スパッタ、イオンプレーティング、ドライエッチングそして表面改質などの薄膜技術の製品開発をおこなう技術者／研究者にとって 『装置の設計・開発・改良・評価』 『材料、デバイスの開発・製造』 『プロセス技術の予測・開発・改良』 の効率化、実験及び試作コストの軽減を目的とした支援シミュレーションソフトウェアとなります。
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