ロールtoロール式減圧プラズマ処理装置『PR Series』電子技研

ロール状フィルム基材の処理に対応。減圧プラズマ処理により、アッシング・エッチングの他、表面改質処理（官能基付与）が可能。

『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。

レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、
用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を
基材表面に強固に付与することができます。

本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。
詳しくはお問い合わせください。

【特長】
■ロールtoロールタイプ
■減圧下でプラズマ処理
　・大気圧装置と比べて有機物除去効果や表面改質効果が高い
　・大気圧装置では出来なかったプロセスも対応（各種官能基修飾など）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ロールtoロール式減圧プラズマ処理装置『PR Series』

【多様なプロセス対応】
■官能基修飾処理（接着性向上、親水化、撥水化、他）
■アッシング / エッチング処理
■デスカム / デスミア処理

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取扱企業ロールtoロール式減圧プラズマ処理装置『PR Series』

株式会社電子技研

・真空プラズマ処理装置、貼り合わせ等各種真空装置、洗浄等各種ＷＥＴ処理装置、ＣＶ等のマテハン装置他、各種装置の開発・設計・製造・保守・プラズマ処理プロセス開発・プラズマ処理受託・温調器（チラー）修理、オーバーホール・他社各種装置の立上、保守メンテナンス請負、派遣・工場内設備保守/保全請負、派遣・工場内備品販売