セイコーフューチャークリエーション株式会社 【動画】FIBによるめっき不良のSlice&View/3D構築
- 最終更新日:2023-12-27 13:17:38.0
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FIBのSlice & View機能によりめっき不良の起点から広がる様子、3D構築により不良の形状が確認できます
集束イオンビーム(Focused Ion Beam:FIB)装置は、集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。
また、FIB-SEMは高解像度のFE-SEM(電界放出形電子顕微鏡)を搭載しており、高分解能での観察と加工が同時に行えるのが特長です。
本動画はFIB-SEM(サーモフィッシャーサイエンティフィック社製:Helios5 CX)でSlice & Viewおよび3D構築の機能を使い『めっき不良の状況』を観察したものです。
詳しくは動画をご覧ください。
基本情報 【動画】FIBによるめっき不良のSlice&View/3D構築
FIBのSlice & Viewにより不良の起点から広がる様子、3D構築により不良の形状が確認できています。
詳しくは動画をご覧ください。
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用途/実績例 | 本技術は半導体不良解析、材料の状態把握など他分野にも応用可能なのでぜひお気軽にお問い合わせください。 |
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