メタルシール採用事例：半導体製造用化学物質キャニスターテクネティクス・グループ・ジャパン

樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報！メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現

当社の「HELICOFLEX デルタシール」が化学会社のキャニスター用
シールに採用された事例をご紹介いたします。

化学会社のキャニスター用シールの仕様は、真空と正圧の両方を
ヘリウムリークタイトできる信頼性と、耐久性に優れることなので、
樹脂製やエラストマー性の採用はできませんでした。

採用後は、ヘリウムリークタイトを実現し、通常よりも設計締付圧力が
低いことによりボルト荷重が下がり、スペースが限定されるキャニスター
カバーのボルト数低減につながりました。

【事例概要】
■課題
・化学物質をヘリウムリークタイトで繰り返し輸送したい
■結果
・ヘリウムリークタイトを実現
・設計締付圧力が低いことによりホルト荷重が下がり、
　キャニスターカバーのボルト数を低減
・PFAS対策の一案としても

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報メタルシール採用事例：半導体製造用化学物質キャニスター

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。