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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50mm~500mm エンコーダは用途により1um~0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業: TOYO ROBOTICS株式会社
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PR【SDGsに貢献】省電力ながらスラッジを効率的に除去!フィルタレスと液…
「液の入れ替えやタンクの清掃が面倒だ」 「フィルタのランニングコストを下げたい」 「産廃排出量を低減したい」 「液の温度管理がしたい」 「製品の不良率を低減したい」 現場ではこの様な声をよく聴くことがあります。 弊社では省電力ながらスラッジを効率的に除去するサイクロン式クーラント液浄化装置を提供することで、 SDGsに貢献できると考えております。 スラッジを除去することで液を循環して使用でき、...
メーカー・取り扱い企業: 日本スピンドル製造株式会社 環境事業部
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コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型
『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
セトラ社のモデル225は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...デッドスペースが1.8mLと小さくパージが容易に行えます。 接ガス部はSUS316LのVAR材を0.18Raの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。 スライド式カバーに...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
セトラ社のモデル224は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 モデル224はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは316L(VAR材)を0.18Raに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…
のチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触(非接触) 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 この新機構として吸着...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置:フロートチャックSAC型
オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…
クターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション(ホバークラフト)の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハチップ・マイクロレンズ・高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置
ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…
クターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション(ホバークラフト)の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック
型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した無接触(非接触)状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索!新バージョン登…
ND、OR検索が可能 ・データの簡単コピー機能 ・データ並び替えで見たい原子がすぐに探せる ・CSVファイルへのエクスポート ・エクスポート時の文字置き換え機能 ・発光強度の切替 真空時/エア混じり ・波長の単位切替 ・データのスクロールアウト防止 ・フォントサイズ調整可 ・カラーサンプルでわかりやすい! その他、便利な機能を搭載しています。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クレブ
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マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)を非…
脱着を行います。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSAG(InP)型」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、InPウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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