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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット<テスト受付中>
PR安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリアランス…
当社は、紙からチタンまで様々な素材を加工する 技術と製品を有し、多岐にわたる事業を展開しています。 主力製品の1つとして製造を手掛ける「ロータリーダイシリンダー」は、 高精度マシニング加工と独自製法により、安定した切れ味と長寿命化を実現。 印刷、食品包装、医薬品包装、電池、半導体製造など 幅広い分野で採用されており、お客様の生産性向上に貢献しています。 また、本製品を搭載した「...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三條機械製作所
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基板製造準備の大幅なスピードアップと製品品質を飛躍的に向上させるソフト…
ダイナトロンの『DynaFLEX II』は、きめ細やかな値設定により、全自動で スムーズなパターン補正を可能とするエッチング補正のソフトウェアです。 データにラインやランド、金めっき端子等の属性を指定し、最小間隙値を 守りながら属性ごとに設定したエッチング補正を全自動で行い、 スムーズな補正データを生成しま...
メーカー・取り扱い企業: ダイナトロン株式会社
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【事例集】前駆体のボラティリティの正確な予測を可能にする機械学習
蒸発または昇華温度を平均±9℃の精度で予測、1秒間に数百の錯体を計算*
実験的合成・試験のための候補前駆体を生み出すことができるようになります。 この揮発性モデルと、 シュレーディンガーの量子力学に基づく反応性と 分解の計算ワークフローにより、 気相堆積やエッチングのための完全な 設計キットが提供され、新技術のための材料やプロセスの研究を加速させます。 *一般的な50種類の金属および半金属の錯体について、与えられた蒸気圧における蒸発または昇華温度を...
メーカー・取り扱い企業: シュレーディンガー株式会社
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各種マスクデータ形式に対応!製品の迅速かつ的確な開発、改良のための設計…
【以下の点でMEMS専用として特化しています】 ■ファブリケーションシミュレーションの装備 ■プロセスによる薄膜物性の違いを考慮 ■異方性Wet,Dryエッチングシミュレーターを装備 ■MEMSデバイス専用モデリングツール ■マスクファイルの作成/インポート/エクスポート ■MEMS専用解析ソルバー ■MEMSパッケージ解析 ■MEMS動的シス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アドバンストテクノロジー
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半導体製造装置向けボードコンピュータ『HPUD100』シリーズ
画像処理、HMI、リアルタイムモーションコントロール用途に好適!長期安…
AS ◆ECC対応 ◆長期安定供給 ◆安心の長寿命設計 ◆BIOSカスタマイズ対応 高信頼性が求められる、 以下の様な半導体製造装置への組込みに適しています。 ◆露光装置 ◆エッチング/薄膜形成装置 ◆レジスト処理装置 ◆CVD装置 ◆スパッタリング装置 ◆ダイシング装置 ◆エージング装置 ...
メーカー・取り扱い企業: 萩原テクノソリューションズ株式会社 事業企画本部 事業推進部
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工場設備、試験機(本体組込&パソコンソフト・シーケンサソフト)
製造メーカーの一端を担うシステムソフトやアプリケーションソフト、ハード…
●IC窒素膜エッチング装置 各工場向け20種以上 ●タイヤ試験機(転がり抵抗試験機、耐久試験機等)各工場向け30種以上 ...
メーカー・取り扱い企業: 東洋テクニカルシステム株式会社
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高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置
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