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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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プロセス用 濃度計、液体濃度センサー 自動化、生産性向上、DX
プロセスコントロール用。音速、密度、屈折率センサー等を用いた連続式濃度…
ては、下記 用途/実績例 欄を参照 その他、Brix(糖、アルコールなど)、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値(NV値) などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ■化学工業 ■電子工学 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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プロセスコントロール用。アントンパールの長年の密度測定技術を用い、アン…
ては、下記 用途/実績例 欄を参照 その他、Brix(糖、アルコールなど)、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値(NV値) などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ■化学 ■電子・半導体 ■食...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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・精度密度計により、エッチング液濃度を監視するエッチング液センサー …
に簡単に組み込むことができ、製薬、飲料、エタノール、化学、石油業界で使用されています。また、日本国内の防爆対応をはじめ、様々な規格に適応しており、高い精度と安定性が評価されております。 エッチング液のリアルタイムモニタリングのほか、剥離剤、洗浄剤のモニターにも使用されています。また、排液の再生・処理にも使用できます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット<テスト受付中>
安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリ…
株式会社三條機械製作所