プラズマを用いた官能基修飾による表面改質で新たな機能を提供

PR難めっき樹脂・難接着樹脂へ「非粗化による直接めっき」や「接着剤レス直接…

弊社改質技術では、基材表面へ官能基を強固に結合して付与することで、 一般的なプラズマ表面処理（有機物除去、一時的な親水性の向上など）ではできない表面改質処理を提供できます。 【特長】 ○低誘電材および難めっき材への非粗化直接めっき技術 　フッ素樹脂、LCP、COP、ポリイミド樹脂などへ非粗化でシード層が介在しない直接銅めっきが可能 ○難接着材の非粗化接着剤レス・直接接着技術 　各種フッ素樹脂、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測！計測応用もさまざま

【ラジカル計測応用】 ■プラズマ発生ラジカル計測 ・エッチング装置：低誘電率層間絶縁膜エッチング、シリコン酸化膜エッチング、シリコンエッチング ・表面処理装置：撥水膜堆積、誘電体膜、絶縁膜堆積 ・チャンバークリーニング：シリコン、タングステン ■ダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

プロセス用 濃度計、液体濃度センサー　自動化、生産性向上、DX

プロセスコントロール用。音速、密度、屈折率センサー等を用いた連続式濃度…

ては、下記 用途/実績例 欄を参照 その他、Brix（糖、アルコールなど）、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値（NV値）　などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ■化学工業 ■電子工学 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

燃料アンモニア計 プロセス用 濃度計、濃度センサー

プロセスコントロール用。アントンパールの長年の密度測定技術を用い、アン…

ては、下記 用途/実績例 欄を参照 その他、Brix（糖、アルコールなど）、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値（NV値）　などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ■化学　■電子・半導体　■食...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

アプリケーション例『エッチング,コーティング,洗浄工程』

太陽電池製造プロセス向けの耐薬品バルブ

太陽電池の製造にもウェットプロセスが組み込まれており,ここでは流体の純度が保たれること以上に,コンポーネントの耐薬品性が重視されます。 GEMÜ社はPFA,PVDF,PPコンポーネントを幅広く提供しております。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302

エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源　AC100～240V（5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

超音波多成分濃度計 FUD-1 Model-53

リアルタイムに3成分中の2成分濃度計側が可能！

リー ○設置時の各種調整等が不要で設置も容易 ○ リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易 【用途】 ○金属酸洗工程における酸液濃度管理など（酸液+金属製溶媒） ○エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など（エッチャント+非エッチャント溶媒） ○洗浄工程における洗浄液濃度管理など（洗浄液+非洗浄溶媒） ○化学工業界における2種混合薬液濃度管理など（溶媒A+溶...

メーカー・取り扱い企業： 富士工業株式会社

高速残留応力測定で加工不良を検知　X線応力測定装置PSMX-II

抜取検査から非破壊自動検査へ～これからの時代の検査工程に

測定が製造ライン上で短時間に測定することが可能になりました。 加工による残留応力・半価幅の数値をリアルタイムに取得することで、加工不良を見逃しません。X線による非破壊検査のため、硬さ検査やエッチング等の破壊試験でムダになっていた廃棄コストも不要に。また、製造ラインへの組み込みも想定したコンパクトデザインで、検査工程の自動化・省人化をサポート。 「品質の見える化」「非破壊検査」「検査工...

メーカー・取り扱い企業： 新東工業株式会社

『各種真空成膜装置』

ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います

す。 当社では、ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置の カスタマイズ製作を行います。 HIPIMS法による成膜を行う「ICF成膜装置」をはじめ、半導体プラズマ洗浄用 プラズマエッチング装置「NAPE500」などをご用意しております。 【ラインアップ】 ■ICF成膜装置 ■プラズマエッチング装置「NAPE500」 ■パルスバイアス実験装置「ICF330」 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

ガーバー基準二次元自動測定機『MasterSCALE III』

プリント基板の測定!エッジセンサーによる測定者誤差を解消してくれる測定…

解消し、 測定レポート及びExcelデータに出力します。 【特長】 ■LED反射照明と透過照明を標準装備 ■エッジセンサーによる測定者誤差解消 ■Vカットの幅、位置を自動測定 ■エッチングラインのトップ/ボトム自動認識 ■測定結果の自動合否判定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： ダイナトロン株式会社

アルネアラボラトリ社製 ウェハ厚み測定器

波長掃引方式により、シリコン基板の厚みを、非接触で高感度にリアルタイム…

・シリコン、インジウムリンなどのウェハの厚みを非接触測定 ・ウェットエッチング中のリアルタイム測定など、過酷な環境下での測定可能 ・精密制御された波長可変光源で、高感度に測定 ・0.1μm以下の測定精度で高い再現性 ・シリコン以外も、測定対象物、測定サイズ・形状によ...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

デジタルプロトラクター20cmホールド機能MC70-62495S

デジタルプロトラクター20cmホールド機能付

●デジタル表示なので一目で数値を読み取れます。 ●ホールド機能付きです。 ●ロックツマミを締めて固定することができます。 ●直尺部の目盛は耐久性の高いエッチング仕様です。 ●測定に便利な左端面基点目盛仕様です。 ●伸ばしても使えます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

測定用品『キャリバ』

1mm通しの目盛りにより内径・外径共に測定できるキャリパ！

『キャリバ』は、肉厚・内径の計測が可能な目盛付内外兼用キャリパです。 頭部にエッチングによるmm通しの目盛りが刻んであり、 内径・外径共に測定することができます。 ステンレス製で、先端部焼入れ仕様です。 【特長】 ■肉厚・内径の計測に ■頭部にエッチングによる1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ランドアート

アプリケーション例『 化学薬品の供給』

化学薬品のハンドリングに最適なバルブをご提案

ハイテク分野の多くでは,プロセス流体の純度が製品の品質と生産量を決定します。 GEMÜ製品は生産設備の中で,洗浄,コーティング,エッチング,充填プロセスの流体制御を担っています。 化学薬品の供給分野におけるGEMÜ社の強みは,あらゆるアプリケーションに対応する豊富なラインナップと,高耐久で流体の純度を低下させないことです。 ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社