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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR超音波領域の振動に対応し、多彩な判定機能を標準装備した振動計測システム
VIT-200Rは、200KHzまでの広帯域振動を解析判定可能な、計測ユニットです。 2chのピエゾ振動センサ入力のほか、アナログ信号入力2chを有し、 複合的判断をすることにも対応可能です。(ソフトカスタイマイズ) 設備の異常や予兆検出、構造物の状況測定、製造作業結果判定など、 多くの分野への応用が可能です。 標準機能の使用手順は次のようになります。 1.PCと接続し、複数パターンの振動デー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アローセブン
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マルチセンサ三次元測定機 SmartScope ZIPシリーズ
検査現場の最適解となるマルチセンサ三次元測定機
SmartScopeの中核モデル。高品位な光学系とオプションセンサの組み合わせは、あらゆる測定対象に対応し、測定の効率化と高精度化のメリットをもたらします。...
メーカー・取り扱い企業: YKT株式会社
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