ガラス状カーボンコート「被覆層を形成する技術」

ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを…

ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。 この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。 【特徴】 　・黒鉛材料のダスト発生を抑えます。 　・黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。 　・黒鉛材料からのガスの発生を抑えます。 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」

半導体をはじめ様々な産業で活躍 　高密度/高純度な特殊炭素材料 　Si…

高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。 【特徴】 　・半導体をはじめ様々な産業で利用（特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えています） 　・特殊炭素材料：高密度／高均熱特性／高耐酸化性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」

プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤ…

DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングは、プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。 【特徴】 ■複雑形状のワークにも対応可能 　・ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、 　　複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能 ■潤滑性に優れる 　・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる ■金属、アルミ以外に樹脂やゴムに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行