【新技術】CFRP/カーボンパイプの部品化　グラファイトデザイン

PRカーボンゴルフシャフト製造で培ってきた技術を発展！特許取得済のＣＦＲＰ…

グラファイトデザインでは、 構造要素部品のCFRP化研究開発の中で、必要な基礎技術を構築するとともに、CFRP部品の適用可能性を提案しております。 低弾性から高弾性まで様々な繊維の使用が可能な豊富な複合材料素材の所有をはじめ、CFRPパイプの量産技術など、グラファイトデザインが培ってきた強みなどを紹介。 ＣＦＲＰパイプの成形加工技術（シートワインディング成形）を応用して、特許取得済みのＣ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グラファイトデザイン

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高温用グラファイト保護コーティング

高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…

グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 ２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 ３）高温のMOCVD用部品を保護しま...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

サーマルレベラー（温度分布改善技術）

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトTPGを使用した温度分布改…

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトとメタライズ技術を使用して様々な部品の温度分布を改善します。 ヒートスポットによる問題を解決し、部品の寿命を延ばします。 【用途】 ■ヒータの温度分布と寿命の改善 ■ヒータの薄型、軽...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

メタライズ用蒸着源。高温セラミックス『PBNエバポレーター』

PBNセラミックスとグラファイトのコンビネーションによる蒸着源。アルミ…

『PBN』は高い電気抵抗と優れた熱伝導性を合わせ持つ異方性の高温セラミックスです。 毒性がなく、非多孔性のPBNは熱CVDプロセスで製造されており、非常に純度の高いものとなっています。メタライズプロセスの蒸着源として使用されています。 【特徴】 ●高純度で長寿命 ●非常に少ないアウトガス ●既存セラミックス製エバポレーターとの置き換えが容易 ●アルミニュウム蒸着膜の品質と厚みの安定...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

タンタルカーバイドコーティング

SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを…

『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。 【...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社